Penerima Berputar Grafit

Suseptor berputar grafit ketulenan tinggi memainkan peranan penting dalam pertumbuhan epitaxial galium nitrida (proses MOCVD). VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal susceptor berputar grafit terkemuka di China. Kami telah membangunkan banyak produk grafit ketulenan tinggi berdasarkan bahan grafit ketulenan tinggi, yang memenuhi sepenuhnya keperluan industri semikonduktor. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi anda dalam susceptor Rotating Graphite.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Susceptor wafer adalah satu kemestian untuk proses pertumbuhan epitaxial. Semasa pertumbuhan epitaxial, substrat wafer diletakkan dalam susceptor.VeTek Semiconductor's High-purity graphite rotating susceptors digunakan dalam peralatan pemprosesan bahan di bawah suhu tinggi dan persekitaran vakum yang tinggi. Dalam pertumbuhan epitaxial galium nitrida (proses MOCVD), mereka memainkan peranan sokongan dalam putaran substrat. Susceptor Grafit Berputar Semikonduktor VeTek mempunyai kelebihan berikut:

● Ketulenan tinggi: Kandungan kekotoran dalam suseptor berputar grafit ketulenan tinggi adalah di bawah 5ppm. Tahap ketulenan grafit ini dapat mengelakkan pembebasan bendasing pada suhu tinggi untuk memastikan kebersihan proses pemendapan. Oleh itu, tiada salutan diperlukan untuk memenuhi keperluan kerja.

Grafit ketulenan tinggi

● Sifat terma yang sangat baik: Grafit ketulenan tinggi mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik, dan kekonduksian termanya jauh lebih tinggi daripada bahan lain. Pekali pengembangan haba adalah kecil dan boleh mengekalkan prestasi yang stabil apabila mengalami perubahan suhu.

● Sifat mekanikal yang baik: Grafit ketulenan tinggi mempunyai rintangan haus dan keliatan yang baik, yang boleh memenuhi keperluan kompleks proses CVD.

● Kekonduksian yang sangat baik: Kekonduksian adalah seratus kali lebih tinggi daripada mineral bukan logam am.

● Kestabilan kimia: Ia boleh menahan kakisan daripada asid, alkali dan pelarut organik

Selain itu, sebagai pengeluar dan pembekal susceptor berputar grafit ketulenan tinggi di China, VeTek Semiconductor juga membekalkan kualiti tinggiSusceptor Grafit Bersalut SiC untuk MOCVD, Susceptor Tong Bersalut SiC, Penerima Grafit Bersalut TaCdanSuseptor salutan MOCVD SiC.Semikonduktor VeTekkomited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor, dan juga menyokong perkhidmatan tersuai. Kami amat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Semikonduktor VeTekKedai produk Graphite Rotating Susceptor:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology