Plat Pembawa Etsa PSS untuk Semikonduktor

Plat Pembawa Etsa PSS Semikonduktor VeTek untuk Semikonduktor ialah pembawa grafit ultra tulen berkualiti tinggi yang direka untuk proses pengendalian wafer. Pembawa kami mempunyai prestasi cemerlang dan boleh berprestasi baik dalam persekitaran yang keras, suhu tinggi dan keadaan pembersihan kimia yang keras. Produk kami digunakan secara meluas di banyak pasaran Eropah dan Amerika, dan kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Sebagai pengilang profesional, kami ingin memberikan anda Plat Pembawa Etsa PSS berkualiti tinggi untuk Semikonduktor. Plat Pembawa Etsa PSS Semikonduktor VeTek untuk Semikonduktor ialah komponen khusus yang digunakan dalam industri semikonduktor untuk proses etsa Plasma Source Spectroscopy (PSS). Plat ini memainkan peranan penting dalam menyokong dan membawa wafer semikonduktor semasa proses pengelasan. Selamat datang untuk menyiasat kami!

Ciri-ciri utama:

Reka Bentuk Ketepatan: Plat pembawa direka bentuk dengan dimensi yang tepat dan kerataan permukaan untuk memastikan goresan seragam dan konsisten merentas wafer semikonduktor. Ia menyediakan platform yang stabil dan terkawal untuk wafer, membolehkan hasil goresan yang tepat dan boleh dipercayai.

Rintangan Plasma: Plat pembawa mempamerkan rintangan yang sangat baik terhadap plasma yang digunakan dalam proses etsa. Ia kekal tidak terjejas oleh gas reaktif dan plasma bertenaga tinggi, memastikan hayat perkhidmatan yang berpanjangan dan prestasi yang konsisten.

Kekonduksian Terma: Plat pembawa mempunyai kekonduksian terma yang tinggi untuk menghilangkan haba yang dihasilkan dengan cekap semasa proses etsa. Ini membantu dalam mengekalkan kawalan suhu optimum dan mengelakkan kepanasan melampau wafer semikonduktor.

Keserasian: Plat Pembawa Etsa PSS direka bentuk agar serasi dengan pelbagai saiz wafer semikonduktor yang biasa digunakan dalam industri, memastikan serba boleh dan kemudahan penggunaan merentas proses pembuatan yang berbeza.

Parameter produk Plat Pembawa Etsa PSS untuk Semikonduktor

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lenturan	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1