Relau Pengoksidaan dan Resapan digunakan dalam pelbagai bidang seperti peranti semikonduktor, peranti diskret, peranti optoelektronik, peranti elektronik kuasa, sel suria, dan pembuatan litar bersepadu berskala besar. Ia digunakan untuk proses termasuk resapan, pengoksidaan, penyepuhlindapan, pengaloian, dan pensinteran wafer.
VeTek Semiconductor ialah pengeluar terkemuka yang mengkhusus dalam pengeluaran komponen grafit, silikon karbida dan kuarza ketulenan tinggi dalam relau pengoksidaan dan resapan. Kami komited untuk menyediakan komponen relau berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik, dan berada di barisan hadapan teknologi salutan permukaan, seperti CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon, dll.
Rintangan suhu tinggi (sehingga 1600 ℃)
Kekonduksian haba yang sangat baik dan kestabilan haba
Rintangan kakisan kimia yang baik
Pekali pengembangan haba yang rendah
Kekuatan dan kekerasan yang tinggi
Hayat perkhidmatan yang panjang
Dalam relau pengoksidaan dan resapan, kerana kehadiran suhu tinggi dan gas menghakis, banyak komponen memerlukan penggunaan bahan tahan suhu tinggi dan tahan kakisan, antaranya silikon karbida (SiC) adalah pilihan yang biasa digunakan. Berikut ialah komponen silikon karbida biasa yang terdapat dalam relau pengoksidaan dan relau resapan:
Bot Wafer
Bot wafer silikon karbida adalah bekas yang digunakan untuk membawa wafer silikon, yang boleh menahan suhu tinggi dan tidak akan bertindak balas dengan wafer silikon.
Tiub Relau
Tiub relau ialah komponen teras relau resapan, digunakan untuk menampung wafer silikon dan mengawal persekitaran tindak balas. Tiub relau silikon karbida mempunyai prestasi rintangan suhu tinggi dan kakisan yang sangat baik.
Plat sesekat
Digunakan untuk mengawal aliran udara dan pengagihan suhu di dalam relau
Tiub Perlindungan Termokopel
Digunakan untuk melindungi termokopel penyukat suhu daripada sentuhan langsung dengan gas menghakis.
Kayuh julur
Pendayung julur silikon karbida tahan terhadap suhu tinggi dan kakisan, dan digunakan untuk mengangkut bot silikon atau bot kuarza yang membawa wafer silikon ke dalam tiub relau resapan.
Penyuntik Gas
Digunakan untuk memasukkan gas tindak balas ke dalam relau, ia perlu tahan kepada suhu tinggi dan kakisan.
Pengangkut Bot
Pembawa bot wafer silikon karbida digunakan untuk membaiki dan menyokong wafer silikon, yang mempunyai kelebihan seperti kekuatan tinggi, rintangan kakisan, dan kestabilan struktur yang baik.
Pintu Relau
Salutan atau komponen silikon karbida juga boleh digunakan pada bahagian dalam pintu relau.
Elemen Pemanas
Elemen pemanasan silikon karbida sesuai untuk suhu tinggi, kuasa tinggi, dan boleh menaikkan suhu dengan cepat kepada lebih 1000 ℃.
Pelapik SiC
Digunakan untuk melindungi dinding dalaman tiub relau, ia boleh membantu mengurangkan kehilangan tenaga haba dan menahan persekitaran yang keras seperti suhu tinggi dan tekanan tinggi.
VeTek Semiconductor menawarkan pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi yang disesuaikan. Diperbuat daripada silikon karbida ketulenan tinggi, ia mempunyai slot untuk menahan wafer di tempatnya, menghalangnya daripada menggelongsor semasa pemprosesan. Salutan SiC CVD juga tersedia jika diperlukan. Sebagai pengilang dan pembekal semikonduktor profesional dan kukuh, pembawa bot wafer SiC ketulenan Tinggi Semikonduktor VeTek adalah harga yang kompetitif dan berkualiti tinggi. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator terkemuka bagi High Purity SiC Cantilever Paddle di China. Dayung Cantilever SiC Ketulenan Tinggi biasanya digunakan dalam relau resapan semikonduktor sebagai pemindahan wafer atau platform pemuatan. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan pembekal Bot Wafer Lajur Menegak & Pedestal profesional di China, Bot Wafer Lajur Menegak Semikonduktor & Alas diperbuat daripada bahan kuarza atau bahan seramik karbon silikon (SiC) ketulenan tinggi, dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, kestabilan kimia dan kekuatan mekanikal , dan merupakan komponen teras yang amat diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor. Selamat datang ke perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat ialah peralatan canggih untuk pemprosesan semikonduktor. Struktur produk Contiguous Wafer Boat direka dengan teliti untuk memastikan pemprosesan dan pengeluaran wafer ketepatan yang cekap. Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk yang sangat baik untuk industri semikonduktor. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan pembekal cincin panduan bersalut TaC, pembawa wafer SiC mendatar, dan susceptor bersalut SiC di China. Kami komited untuk menyediakan sokongan teknikal yang sempurna dan penyelesaian produk muktamad untuk industri semikonduktor. Selamat datang untuk menghubungi kami.
Baca LagiHantar PertanyaanBot Wafer SiC Semiconductor VeTek ialah produk berprestasi tinggi. Bot Wafer SiC kami biasanya digunakan dalam relau resapan pengoksidaan semikonduktor untuk memastikan bahawa suhu diagihkan sama rata pada wafer dan meningkatkan kualiti pemprosesan wafer silikon. Kestabilan suhu tinggi dan kekonduksian haba yang tinggi bagi bahan SiC memastikan pemprosesan semikonduktor yang cekap dan boleh dipercayai. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan