Chuck Wafer Silicon Carbide

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck menggunakan sifat cemerlang bahan Silicon Carbide untuk memenuhi keperluan ketat pengeluaran semikonduktor, terutamanya dalam pemprosesan semikonduktor yang memerlukan ketepatan dan kebolehpercayaan yang sangat tinggi.

Dalam proses pemprosesan semikonduktor,Silikon Karbidamempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik (boleh bekerja secara stabil sehingga 1400°C), kekonduksian rendah (SiC mempunyai kekonduksian yang agak rendah, biasanya 10^^-3S/m) dan pekali pengembangan terma rendah (kira-kira 4.0 × 10^^-6/°C), yang merupakan bahan yang sangat diperlukan dan penting, terutamanya sesuai untuk pembuatan Chuck Wafer Silicon Carbide.

Semasaproses pertumbuhan epitaxial, lapisan nipis bahan semikonduktor diendapkan pada substrat, memerlukan kestabilan mutlak daripada wafer untuk memastikan lapisan pemendapan filem yang seragam dan berkualiti tinggi. SiC Vacuum Chuck mencapai ini dengan mencipta pegangan vakum yang kukuh dan konsisten untuk mengelakkan sebarang pergerakan atau ubah bentuk wafer.

Chuck Wafer Silicon Carbide juga menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap kejutan haba. Perubahan suhu yang cepat adalah perkara biasa dalam pembuatan semikonduktor, dan bahan yang tidak dapat menahan turun naik ini mungkin retak, bengkok atau gagal. Silikon karbida mempunyai pekali pengembangan terma yang rendah dan boleh mengekalkan bentuk dan fungsinya walaupun di bawah perubahan suhu yang drastik, memastikan wafer kekal selamat semasa proses epitaksi tanpa pergerakan atau salah jajaran.

Lebih-lebih lagi,proses epitaksiselalunya melibatkan gas reaktif dan bahan kimia menghakis yang lain. Lengai kimia SiC Wafer Chuck memastikan ia tidak terjejas oleh persekitaran yang keras ini, mengekalkan prestasinya dan memanjangkan hayat perkhidmatannya. Ketahanan kimia ini bukan sahaja mengurangkan kekerapan penggantian Wafer Chuck, tetapi juga memastikan prestasi produk yang konsisten sepanjang beberapa kitaran pengeluaran, membantu meningkatkan kecekapan keseluruhan dan keberkesanan kos proses pembuatan semikonduktor.

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal terkemuka produk Silicon Carbide Wafer Chuck di China. Kami boleh menyediakan pelbagai jenis produk Chuck sepertiChuck Seramik SiC Berliang, Chuck Vakum SiC Berliang, Chuck Vakum Seramik BerliangdanChuck Bersalut TaC, dsb. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor. Kami sangat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

DATA SEM DARI CVDSTRUKTUR KRISTAL FILEM SIC：

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：