Salutan Seramik Silicon Carbide

Semikonduktor Vetek Salutan Seramik Silicon Carbideialah salutan pelindung berprestasi tinggi yang diperbuat daripada bahan silikon karbida (SiC) yang sangat keras dan tahan haus, yang memberikan rintangan kakisan kimia yang sangat baik dan kestabilan suhu tinggi. Ciri-ciri ini adalah penting dalam pengeluaran semikonduktor, jadi Salutan Seramik Silicon Carbide digunakan secara meluas pada komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor.

Peranan khusus yang dimainkan oleh Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating dalam pengeluaran semikonduktor ialahseperti berikut:

Meningkatkan ketahanan peralatan: Salutan Seramik Karbida Silikon menyediakan perlindungan permukaan yang sangat baik untuk peralatan pembuatan semikonduktor dengan kekerasan dan rintangan haus yang sangat tinggi. Terutamanya dalam persekitaran proses bersuhu tinggi dan sangat menghakis, seperti pemendapan wap kimia (CVD) dan etsa plasma, salutan seramik silikon karbida secara berkesan boleh menghalang kerosakan pada permukaan peralatan akibat hakisan kimia atau haus fizikal, dengan itu memanjangkan hayat perkhidmatan dengan ketara. peralatan dan mengurangkan masa henti yang disebabkan oleh penggantian dan penyelenggaraan yang kerap.

Meningkatkan kemurnian proses: Dalam proses pembuatan semikonduktor, sebarang pencemaran kecil boleh menyebabkan kecacatan produk. Kelalaian kimia salutan seramik silikon karbida membolehkan ia kekal stabil dalam keadaan yang melampau, menghalang bahan daripada melepaskan zarah atau kekotoran, dan memastikan kesucian alam sekitar semasa proses. Ini amat penting untuk langkah pembuatan yang memerlukan ketepatan tinggi dan kebersihan tinggi, seperti PECVD dan implantasi ion.

Optimumkan pengurusan haba: Dalam pemprosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti pemprosesan terma pantas (RTP) dan proses pengoksidaan, kekonduksian haba yang tinggi bagi Salutan Seramik Silikon Karbida membolehkan pengagihan suhu seragam di dalam peralatan. Ini membantu mengurangkan tekanan haba dan ubah bentuk bahan yang disebabkan oleh turun naik suhu, dengan itu meningkatkan ketepatan dan konsistensi pembuatan produk.

Menyokong persekitaran proses yang kompleks: Dalam proses yang memerlukan kawalan atmosfera yang kompleks, seperti proses goresan ICP dan PSS, kestabilan dan rintangan pengoksidaan pemanas salutan seramik silikon karbida memastikan prestasi peralatan yang stabil dalam operasi jangka panjang, mengurangkan risiko kemerosotan bahan atau peralatan. kerosakan akibat perubahan persekitaran.

Semikonduktor Vetekmemberi tumpuan kepada pembuatan dan membekalkan prestasi tinggiSalutan Seramik Silicon Carbide, dan komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor.Kami amat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Sifat fizikal asas bagiSalutan Seramik Silicon Carbide:

Kedai VeTek Semiconductor Salutan Seramik Silicon Carbide:

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor: