Bahagian Halfmoon 8 Inci untuk Kilang Reaktor LPE

Pengeluar Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide

Susceptor Tong Bersalut SiC untuk Pembekal LPE PE2061S

Salutan Tantalum Carbide

Semikonduktor VeTek ialah pengeluar terkemuka bahan Salutan Tantalum Carbide untuk industri semikonduktor. Tawaran produk utama kami termasuk bahagian salutan tantalum karbida CVD, bahagian salutan TaC tersinter untuk pertumbuhan kristal SiC atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor mempunyai kawalan yang baik pada kualiti. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Salutan Karbida Tantalum melalui penyelidikan dan pembangunan teknologi lelaran yang berterusan.

Produk utama ialah cincin pembelot salutan Tantalum Carbide, cincin lencongan bersalut TaC, bahagian halfmoon bersalut TaC, Cakera Putaran Planet Bersalut Tantalum Carbide (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; Cincin Bersalut TaC; Grafit Berliang Bersalut TaC; Susceptor Grafit Salutan Tantalum Carbide; Cincin Panduan Bersalut TaC; Plat Bersalut TaC Tantalum Carbide; Susceptor Wafer Bersalut TaC; Cincin Salutan TaC; Penutup Grafit Salutan TaC; TaC Coated Chunk dsb., ketulenannya di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Grafit salutan TaC dicipta dengan menyalut permukaan substrat grafit ketulenan tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida oleh proses Pemendapan Wap Kimia (CVD) proprietari. Kelebihan ditunjukkan dalam gambar di bawah:

Salutan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian kerana takat leburnya yang tinggi sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang sangat baik, kekerasan, dan rintangan kepada kejutan haba, menjadikannya alternatif yang menarik kepada proses epitaksi semikonduktor kompaun dengan keperluan suhu yang lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ia juga mempunyai aplikasi yang luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT.

Parameter Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10-5 Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Data EDX salutan TaC

Data struktur kristal lapisan TaC

unsur	Peratus atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Purata
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Salutan TaC Cakera Planetary Salutan TaC Plat Bersalut TaC Plat Putaran Salutan TaC Suseptor salutan TaC Penutup salutan CVD TaC Cincin Salutan CVD TaC Plat Salutan TaC

Salutan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.

Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lenturan	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1

Produk Pilihan

Tentang kita

VeTek semikonduktor Technology Co., LTD, yang diasaskan pada 2016, ialah pembekal utama bahan salutan termaju untuk industri semikonduktor. Pengasas kami, bekas pakar dari Institut Bahan Akademi Sains China, menubuhkan syarikat dengan tumpuan untuk membangunkan penyelesaian termaju untuk industri.

Tawaran produk utama kami termasukSalutan silikon karbida (SiC) CVD, salutan tantalum karbida (TaC)., pukal SiC, serbuk SiC, dan bahan SiC ketulenan tinggi. Produk utama ialah susceptor grafit bersalut SiC, cincin prapanas, cincin lencongan bersalut TaC, bahagian halfmoon, dan lain-lain, ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Baca Lagi