Rumah > Produk > Salutan Silikon Karbida > Epitaksi Silikon Karbida > Pembawa wafer Satelit Aixtron
Pembawa wafer Satelit Aixtron
  • Pembawa wafer Satelit AixtronPembawa wafer Satelit Aixtron

Pembawa wafer Satelit Aixtron

Sebagai pengilang dan inovator produk Pembawa Wafer Satelit Aixtron profesional di China, Pembawa Wafer Satelit Aixtron Semikonduktor VeTek ialah pembawa wafer yang digunakan dalam peralatan AIXTRON, terutamanya digunakan dalam proses MOCVD dalam pemprosesan semikonduktor, dan amat sesuai untuk suhu tinggi dan ketepatan tinggi proses pemprosesan semikonduktor. Pembawa boleh memberikan sokongan wafer yang stabil dan pemendapan filem seragam semasa pertumbuhan epitaxial MOCVD, yang penting untuk proses pemendapan lapisan. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Pembawa Wafer Satelit Aixtron ialah sebahagian daripada peralatan AIXTRON MOCVD, yang digunakan khas untuk membawa wafer untuk pertumbuhan epitaxial. Ia amat sesuai untukpertumbuhan epitaxialproses peranti GaN dan silikon karbida (SiC). Reka bentuk "satelit" yang unik bukan sahaja memastikan keseragaman aliran gas, tetapi juga meningkatkan keseragaman pemendapan filem pada permukaan wafer.


milik Aixtronpembawa waferbiasanya diperbuat daripadasilikon karbida (SiC)atau grafit bersalut CVD. Antaranya, silikon karbida (SiC) mempunyai kekonduksian haba yang sangat baik, rintangan suhu tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah. Grafit bersalut CVD ialah grafit yang disalut dengan filem silikon karbida melalui proses pemendapan wap kimia (CVD), yang boleh meningkatkan rintangan kakisan dan kekuatan mekanikalnya. Bahan SiC dan grafit bersalut boleh menahan suhu sehingga 1,400°C–1,600°C dan mempunyai kestabilan haba yang sangat baik pada suhu tinggi, yang penting untuk proses pertumbuhan epitaxial.


Aixtron G5 MOCVD Susceptor


Pembawa Wafer Satelit Aixtron digunakan terutamanya untuk membawa dan memutarkan wafer dalamProses MOCVDuntuk memastikan aliran gas seragam dan pemendapan seragam semasa pertumbuhan epitaxial.Fungsi khusus adalah seperti berikut:


Putaran wafer dan pemendapan seragam: Melalui putaran Pembawa Satelit Aixtron, wafer boleh mengekalkan pergerakan yang stabil semasa pertumbuhan epitaxial, membolehkan gas mengalir sama rata di atas permukaan wafer untuk memastikan pemendapan bahan yang seragam.

Galas suhu tinggi dan kestabilan: Silikon karbida atau bahan grafit bersalut boleh menahan suhu sehingga 1,400°C–1,600°C. Ciri ini memastikan bahawa wafer tidak akan berubah bentuk semasa pertumbuhan epitaxial suhu tinggi, sambil menghalang pengembangan haba pembawa itu sendiri daripada menjejaskan proses epitaxial.

Penjanaan zarah berkurangan: Bahan pembawa berkualiti tinggi (seperti SiC) mempunyai permukaan licin yang mengurangkan penjanaan zarah semasa pemendapan wap, dengan itu meminimumkan kemungkinan pencemaran, yang penting untuk menghasilkan bahan semikonduktor berkualiti tinggi ketulenan tinggi.


Pembawa Wafer Satelit Aixtron Semiconductor VeTek tersedia dalam saiz wafer 100mm, 150mm, 200mm dan lebih besar, dan boleh menyediakan perkhidmatan produk tersuai berdasarkan keperluan peralatan dan proses anda. Kami sangat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.


DATA SEM STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD


SEM DATA OF CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE


Aixtron Satelit pembawa wafer kedai Pengeluaran:



Aixtron Satellite wafer carrier Production shops


Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor:


semiconductor chip epitaxy industry chain


Teg Panas: Pembawa wafer Satelit Aixtron, China, Pengilang, Pembekal, Kilang, Disesuaikan, Beli, Termaju, Tahan Lama, Buatan China
Kategori Berkaitan
Hantar Pertanyaan
Sila berasa bebas untuk memberikan pertanyaan anda dalam borang di bawah. Kami akan membalas anda dalam masa 24 jam.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept