Aixtron G5 MOCVD Susceptors

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan inovator Susceptors Aixtron G5 MOCVD terkemuka di China. Kami telah mengkhusus dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Susceptors Aixtron G5 MOCVD yang direka khusus untuk reaktor Aixtron G5 MOCVD. Kit Susceptors Aixtron G5 MOCVD ini adalah penyelesaian yang serba boleh dan cekap untuk pembuatan semikonduktor dengan saiz optimum, keserasian dan produktiviti yang tinggi. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Sebagai pengilang profesional, VeTek Semiconductor ingin memberikan anda Aixtron G5 MOCVD Susceptors seperti bahagian grafit bersalut SiC, bahagian grafit bersalut TaC, SiC pepejal/CVD SiC, bahagian kuarza. Selamat datang ke pertanyaan kami.

Aixtron G5 ialah sistem pemendapan untuk semikonduktor kompaun. AIX G5 MOCVD menggunakan platform reaktor planet AIXTRON yang terbukti pelanggan pengeluaran dengan sistem pemindahan wafer kartrij (C2C) automatik sepenuhnya. Mencapai saiz rongga tunggal terbesar industri (8 x 6 inci) dan kapasiti pengeluaran terbesar. Ia menawarkan konfigurasi 6 - dan 4-inci yang fleksibel yang direka untuk meminimumkan kos pengeluaran sambil mengekalkan kualiti produk yang cemerlang. Sistem CVD planet dinding hangat dicirikan oleh pertumbuhan berbilang plat dalam satu relau, dan kecekapan output adalah tinggi. VeTek Semiconductor menawarkan set aksesori lengkap untuk sistem Aixtron G5 MOCVD, Aixtron G5 MOCVD Susceptors terdiri daripada aksesori ini:

Sekeping Tujah, Anti-Putar	Cincin Agihan	Siling	Pemegang, Siling, Bertebat	Plat Penutup, Luar
Sarung Pinggan, Dalam	Cincin Penutup	Cakera	Cakera Penutup Turun	Pin
Pencuci pin	Cakera Planetary	Jurang Gelang Masuk Pemungut	Pengumpul Ekzos Atas	Pengatup
Cincin Penyokong	Tiub Sokongan

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

Sifat fizikal asas salutan CVD SiC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers（500g beban）
Saiz bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lenturan	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1