Dayung Cantilever SiC Ketulenan Tinggi

Paddle Cantilever SiC Ketulenan Tinggi ialah komponen utama yang digunakan dalam peralatan pemprosesan semikonduktor. Produk ini diperbuat daripada bahan silikon karbida (SiC) ketulenan tinggi. Digabungkan dengan ciri-ciri cemerlangnya iaitu ketulenan tinggi, kestabilan haba yang tinggi dan rintangan kakisan, ia digunakan secara meluas dalam proses seperti pemindahan wafer, sokongan dan pemprosesan suhu tinggi, memberikan jaminan yang boleh dipercayai untuk memastikan ketepatan proses dan kualiti produk.

Secara umumnya, High Purity SiC Cantilever Paddle memainkan peranan khusus berikut dalam proses pemprosesan semikonduktor:

Pemindahan wafer: Paddle Cantilever SiC Ketulenan Tinggi biasanya digunakan sebagai peranti pemindahan wafer dalam relau resapan atau pengoksidaan suhu tinggi. Kekerasannya yang tinggi menjadikannya tahan haus dan tidak mudah berubah bentuk semasa penggunaan jangka panjang, dan boleh memastikan bahawa wafer kekal dengan kedudukan yang tepat semasa proses pemindahan. Digabungkan dengan suhu tinggi dan rintangan kakisan, ia boleh memindahkan wafer masuk dan keluar dengan selamat dari tiub relau dalam persekitaran suhu tinggi tanpa menyebabkan sebarang pencemaran atau kerosakan pada wafer.

Sokongan wafer: Bahan SiC mempunyai pekali pengembangan terma yang rendah, yang bermaksud saiznya kurang berubah apabila suhu berubah, yang membantu mengekalkan kawalan yang tepat dalam proses. Dalam proses pemendapan wap kimia (CVD) atau pemendapan wap fizikal (PVD), SiC Cantilever Paddle digunakan untuk menyokong dan membetulkan wafer untuk memastikan wafer kekal stabil dan rata semasa proses pemendapan, dengan itu meningkatkan keseragaman dan kualiti filem. .

Penggunaan proses suhu tinggi: SiC Cantilever Paddle mempunyai kestabilan haba yang sangat baik dan boleh menahan suhu sehingga 1600°C. Oleh itu, produk ini digunakan secara meluas dalam penyepuhlindapan suhu tinggi, pengoksidaan, resapan dan proses lain.

Sifat fizikal asas Dayung Cantilever SiC Ketulenan Tinggi:

Dayung Cantilever SiC Ketulenan Tinggikedai-kedai:

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor: