Bot Wafer Silicon Carbide untuk Relau Mendatar

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional di China untuk bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan pengeluaran, boleh mengawal kualiti dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Anda boleh yakin untuk membeli bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar daripada kami.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Bot wafer silikon karbida berkualiti tinggi untuk relau mendatar ditawarkan oleh pengeluar China VeTek Semiconductor. Beli Bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar yang berkualiti tinggi terus dari kilang dengan harga yang rendah.Bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar digunakan dalam tiub relau untuk memuatkan dan memindahkan wafer semasa rawatan suhu tinggi. Oleh kerana sifat-sifat cemerlang bahan silikon karbida seperti rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan kimia, dan kestabilan terma, ia digunakan secara meluas dalam pelbagai proses rawatan haba seperti resapan, pengoksidaan, CVD, dan penyepuhlindapan.

Bot wafer silikon karbida untuk relau mendatar diperbuat daripada bahan silikon karbida dan mempunyai ciri-ciri berikut:

1. Kekerasan tinggi dan rintangan haus: Silikon karbida mempunyai kekerasan kedua selepas berlian, menjadikannya sangat tahan haus. Ini membolehkan bot silikon karbida untuk menahan kesan mekanikal berulang dan geseran, memanjangkan hayat perkhidmatan mereka.

2. Rintangan suhu tinggi: Silikon karbida mempunyai takat lebur 2730°C, menjadikan bot karbida silikon sesuai untuk persekitaran suhu tinggi dan pelbagai proses pembuatan semikonduktor, seperti pengoksidaan dan resapan suhu tinggi.

3. Pekali pengembangan haba yang rendah: Silikon karbida mempunyai pekali pengembangan haba yang rendah, yang membantu mengekalkan kestabilan dimensi pada suhu tinggi, menghalang ubah bentuk bot dan menjejaskan ketepatan pemprosesan wafer.

4. Kestabilan kimia yang baik: Silikon karbida tahan terhadap kebanyakan bahan kimia dan tidak bertindak balas dengan larutan asid dan alkali biasa, memastikan keselamatan dan kebersihan wafer.

Kami boleh mengeluarkan pelbagai jenis bot wafer silikon karbida seperti bot wafer mendatar, bot wafer menegak, dan bot lain yang disesuaikan.

Kami menggunakan karbida silikon terhablur ketulenan tinggi dengan parameter di bawah:

Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula
Harta benda	Nilai Biasa
Suhu kerja (°C)	1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran)
kandungan SiC	> 99.96%
Kandungan Si percuma	< 0.1%
Ketumpatan pukal	2.60-2.70 g/cm3
Keliangan yang ketara	< 16%
Kekuatan mampatan	> 600 MPa
Kekuatan lenturan sejuk	80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lenturan panas	90-100 MPa (1400°C)
Pengembangan terma @1500°C	4.70 10-6/°C
Kekonduksian terma @1200°C	23 W/m•K
Modulus elastik	240 GPa
Rintangan kejutan terma	Tersangat baik