VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional di China untuk bot wafer silikon karbida bersalut SiC, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan pengeluaran, boleh mengawal kualiti dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Selamat datang untuk melawat kilang kami dan mengadakan perbincangan lanjut mengenai kerjasama.
VeTek Semiconductor ialah pengilang & pembekal China yang kebanyakannya menghasilkan Bot Wafer Silicon Carbide Bersalut SiC dengan pengalaman bertahun-tahun. Semoga dapat membina hubungan perniagaan dengan anda.Bot wafer silikon karbida bersalut SiC digunakan dalam relau resapan semikonduktor untuk membawa wafer untuk pelbagai proses suhu tinggi seperti implantasi ion, resapan dan penyepuhlindapan. Ia boleh menyediakan persekitaran yang stabil untuk wafer, memastikan keseragaman suhu dan konsistensi semasa pemprosesan.
Bot wafer silikon karbida bersalut SiC mempunyai rintangan haba dan kestabilan kimia yang lebih tinggi, membolehkannya beroperasi pada suhu yang lebih tinggi dan memberikan jangka hayat yang lebih lama. Selain itu, ia mempunyai kadar penyejatan bahan dan kadar penjerapan gas yang lebih rendah, membantu mengurangkan kesan kekotoran pada pemprosesan wafer.
Kami boleh mengeluarkan pelbagai jenis bot wafer silikon karbida seperti bot wafer mendatar, bot wafer menegak, dan bot lain yang disesuaikan.
1. Kestabilan Suhu Tinggi
2.Kelalaian Kimia
3.Kandungan Kekotoran Rendah
4. Kekonduksian Terma
Sifat fizikal Silikon Karbida Terhablur Semula | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran) |
kandungan SiC | > 99.96% |
Kandungan Si percuma | < 0.1% |
Ketumpatan pukal | 2.60-2.70 g/cm3 |
Keliangan yang ketara | < 16% |
Kekuatan mampatan | > 600 MPa |
Kekuatan lenturan sejuk | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lenturan panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Pengembangan terma @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Kekonduksian terma @1200°C | 23 W/m•K |
Modulus elastik | 240 GPa |
Rintangan kejutan terma | Tersangat baik |