Bot kuarza semikonduktor

Dalam proses semikonduktor, pengangkutan wafer adalah amat penting. Bot kuarza semikonduktor sangat baik dalam mengangkut wafer dan sesuai untuk proses seperti resapan, pengoksidaan, dan CVD. VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal bot kuarza semikonduktor terkemuka di China, dan mampu menyediakan pelanggan dengan produk tersuai tinggi. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Bot kuarza semikonduktor ialah produk kuarza ketulenan tinggi yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk membawa dan memindahkan wafer dalam relau suhu tinggi. Ia digunakan secara meluas dalam industri ketepatan seperti semikonduktor, optoelektronik, dan LED. Sesuai untuk resapan, pengoksidaan, CVD dan proses lain.

Semiconductor quartz boat working diagram

Ciri-ciri Produk：

• Kesucian yang tinggi: Bot kuarza semikonduktor menggunakan bahan kuarza ketulenan tinggi dengan kandungan kekotoran yang sangat rendah, dengan berkesan mengelakkan pencemaran ion logam, dan sesuai untuk keperluan persekitaran bersih proses semikonduktor.

• Rintangan suhu tinggi: Ia mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan boleh digunakan secara stabil untuk masa yang lama dalam persekitaran sehingga 1200 ℃.

• Rintangan kakisan: Ia mempunyai rintangan kakisan yang baik kepada kebanyakan reagen kimia seperti asid dan alkali, jadi ia boleh menyesuaikan diri dengan persekitaran kimia dalam peralatan semikonduktor seperti relau CVD.

•Kestabilan haba yang baik: Pekali pengembangan haba yang rendah, tidak mudah berubah bentuk apabila dipanaskan, sesuai untuk proses pemanasan dan penyejukan yang kerap.

Parameter	Spesifikasi
bahan	Kuarza ketulenan tinggi
Diameter luar	Disesuaikan mengikut keperluan
Panjang	Disesuaikan mengikut keperluan
Kestabilan terma	Operasi stabil pada 1200°C

Spesifikasi

• Meningkatkan kecekapan pengeluaran: reka bentuk padat, pemindahan wafer yang mudah dan kapasiti proses yang dipertingkatkan.

• Kurangkan risiko pencemaran: bahan kuarza ketulenan tinggi, mengurangkan pencemaran kekotoran surih dalam proses.

• Jangka hayat dan ketahanan yang panjang: suhu tinggi dan rintangan kakisan, sesuai untuk kegunaan frekuensi tinggi, mengurangkan kos penggantian.

Vetek Semiconductor komited untuk menyediakan pelanggan dengan produk bot kuarza ketulenan tinggi yang berkualiti tinggi. Semua produk dikawal kualiti dengan ketat untuk memastikan ia memenuhi piawaian tinggi industri semikonduktor.