Teknologi semburan haba semikonduktor

Teknologi semburan haba semikonduktor ialah proses lanjutan yang menyembur bahan dalam keadaan cair atau separa cair ke permukaan substrat untuk membentuk salutan. Teknologi ini digunakan secara meluas dalam bidang pembuatan semikonduktor, terutamanya digunakan untuk membuat salutan dengan fungsi khusus pada permukaan substrat, seperti kekonduksian, penebat, rintangan kakisan, dan rintangan pengoksidaan. Kelebihan utama teknologi penyemburan haba termasuk kecekapan tinggi, ketebalan salutan yang boleh dikawal, dan lekatan salutan yang baik, menjadikannya sangat penting dalam proses pembuatan semikonduktor yang memerlukan ketepatan dan kebolehpercayaan yang tinggi.

Aplikasi teknologi penyemburan haba dalam semikonduktor

Goresan sinar plasma (goresan kering)

Biasanya merujuk kepada penggunaan nyahcas cahaya untuk menghasilkan zarah aktif plasma yang mengandungi zarah bercas seperti plasma dan elektron dan atom dan molekul neutral yang sangat aktif secara kimia dan radikal bebas, yang meresap ke bahagian yang akan terukir, bertindak balas dengan bahan yang terukir, membentuk meruap. produk dan dikeluarkan, dengan itu melengkapkan teknologi etsa pemindahan corak. Ia adalah proses yang tidak boleh diganti untuk merealisasikan pemindahan kesetiaan tinggi corak halus daripada templat fotolitografi kepada wafer dalam penghasilan litar bersepadu berskala ultra besar.

Sebilangan besar radikal bebas aktif seperti Cl dan F akan dihasilkan. Apabila mereka menggores peranti semikonduktor, ia menghakis permukaan dalaman bahagian lain peralatan, termasuk aloi aluminium dan bahagian struktur seramik. Hakisan yang kuat ini menghasilkan sejumlah besar zarah, yang bukan sahaja memerlukan penyelenggaraan peralatan pengeluaran yang kerap, tetapi juga menyebabkan kegagalan ruang proses etsa dan kerosakan pada peranti dalam kes yang teruk.

Y2O3 adalah bahan dengan sifat kimia dan haba yang sangat stabil. Takat leburnya jauh melebihi 2400 ℃. Ia boleh kekal stabil dalam persekitaran menghakis yang kuat. Rintangannya terhadap pengeboman plasma boleh memanjangkan hayat perkhidmatan komponen dan mengurangkan zarah dalam ruang etsa.

Penyelesaian arus perdana ialah menyembur salutan Y2O3 ketulenan tinggi untuk melindungi ruang etsa dan komponen utama lain.