Bot Grafit PECVD

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal bot grafit PECVD China profesional.

Apakah peranan bot grafit sel solar VeTek Semiconductor (salutan)PECVD?

Sebagai pembawa wafer silikon biasa yang dihasilkan oleh proses salutan, bot grafit PECVD mempunyai banyak wafer bot dengan selang tertentu dalam struktur, dan terdapat ruang yang sangat sempit di antara dua wafer bot bersebelahan, dan wafer silikon diletakkan pada kedua-duanya. sisi pintu kosong.

Oleh kerana grafit bahan bot grafit PECVD mempunyai sifat kekonduksian elektrik dan haba yang baik, voltan AC diminta dalam dua bot bersebelahan, supaya dua bot bersebelahan membentuk kutub positif dan negatif, apabila terdapat tekanan dan gas tertentu di dalam ruang, nyahcas cahaya berlaku di antara kedua-dua bot, nyahcas cahaya boleh menguraikan gas SiH4 dan NH3 di dalam ruang, membentuk ion Si dan N. Molekul SiNx dibentuk dan dimendapkan pada permukaan wafer silikon untuk mencapai tujuan salutan.

Bot grafit PECVD sebagai pembawa untuk filem antipantulan penyaduran sel suria, struktur dan saiznya secara langsung mempengaruhi kecekapan penukaran dan kecekapan pengeluaran wafer silikon, selepas bertahun-tahun penyelidikan dan pembangunan teknikal, kilang kami kini mempunyai peralatan pengeluaran termaju, pereka teknologi matang dan berpengalaman. kakitangan pengeluaran, dan bahan boleh memilih bahan mentah yang diimport atau bahan domestik mewah. Pada masa ini, rumah grafit yang dikeluarkan oleh syarikat kami mempunyai struktur yang ringkas, jarak yang munasabah dari bot grafit, yang menjadikan salutan silikon seragam, meningkatkan kualiti wafer silikon, dan menjadikan kecekapan penukaran tenaga suria adalah tinggi.

Vetek Semiconductor mempunyai semua jenis bot grafit yang diperlukan oleh pasaran sekarang.

Sifat fizikal asas grafit isostatik:

Kedai pengeluaran:

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor: