Kepala Pancuran SiC

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Kepala Pancuran SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Kepala Pancuran SiC dipilih sebagai bahan cincin fokus kerana kestabilan termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanikal yang tinggi dan ketahanan terhadap hakisan plasma .Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Anda boleh yakin untuk membeli Kepala Pancuran SiC dari kilang kami.

Bahan silikon karbida mempunyai gabungan unik sifat terma, elektrik dan kimia yang sangat baik, menjadikannya sesuai untuk aplikasi dalam industri semikonduktor di mana bahan berprestasi tinggi diperlukan.

Teknologi revolusioner VeTek Semiconductor membolehkan pengeluaran Kepala Pancuran SiC, bahan silikon karbida ketulenan ultra tinggi yang dicipta melalui proses Pemendapan Wap Kimia.

Kepala Pancuran SiC ialah komponen penting dalam pembuatan semikonduktor, direka khusus untuk sistem MOCVD, epitaksi silikon dan proses epitaksi SiC. Diperbuat daripada silikon karbida (SiC) pepejal teguh, komponen ini boleh menahan keadaan melampau pemprosesan plasma dan aplikasi suhu tinggi.

Silikon karbida (SiC) terkenal dengan kekonduksian terma yang tinggi, rintangan kakisan kimia dan kekuatan mekanikal yang luar biasa, menjadikannya bahan yang ideal untuk komponen SiC pukal seperti Kepala Pancuran SiC. Kepala pancuran mandian gas memastikan pengedaran gas proses yang sekata ke atas permukaan wafer, yang penting untuk menghasilkan lapisan epitaxial berkualiti tinggi. Cincin fokus dan cincin tepi, selalunya diperbuat daripada CVD-SiC, mengekalkan pengedaran plasma seragam dan melindungi ruang daripada pencemaran, meningkatkan kecekapan dan hasil pertumbuhan epitaxial.

Dengan kawalan aliran gas yang tepat dan sifat bahan yang luar biasa, Kepala Pancuran SiC ialah komponen utama dalam pemprosesan semikonduktor moden, menyokong aplikasi lanjutan dalam epitaksi silikon dan epitaksi SiC.

VeTek Semiconductor menawarkan kepala pancuran mandian semikonduktor semikonduktor silikon karbida tersinter kerintangan rendah. Kami mempunyai keupayaan untuk jurutera tersuai dan membekalkan bahan seramik termaju menggunakan pelbagai keupayaan unik.

Parameter produk Kepala Pancuran SiC:

Sifat fizikal SiC Pepejal
Ketumpatan	3.21	g/cm3
Kerintangan Elektrik	102	Ω/cm
Kekuatan lenturan	590	MPa	(6000kgf/cm2)
Modulus Muda	450	GPa	(6000kgf/mm2)
Kekerasan Vickers	26	GPa	(2650kgf/mm2)
C.T.E.(RT-1000℃)	4.0	x10-6/K
Kekonduksian Terma(RT)	250	W/mK