Pembawa Salutan TaC CVD

VeTek Semiconductor ialah peneraju profesional China CVD TaC Coating carrier, EPITAXY SUSCEPTOR, TaC Coated Graphite Susceptor manufacturer.

Melalui proses berterusan dan penyelidikan inovasi bahan, pembawa salutan CVD TaC Vetek Semiconductor memainkan peranan yang sangat kritikal dalam proses epitaxial, terutamanya termasuk aspek berikut:

Perlindungan substrat: Pembawa salutan TaC CVD memberikan kestabilan kimia yang sangat baik dan kestabilan terma, dengan berkesan menghalang suhu tinggi dan gas menghakis daripada menghakis substrat dan dinding dalam reaktor, memastikan ketulenan dan kestabilan persekitaran proses.

Keseragaman terma: Digabungkan dengan kekonduksian terma tinggi pembawa salutan CVD TaC, ia memastikan keseragaman pengagihan suhu dalam reaktor, mengoptimumkan kualiti kristal dan keseragaman ketebalan lapisan epitaxial, dan meningkatkan ketekalan prestasi produk akhir.

Kawalan pencemaran zarah: Memandangkan pembawa bersalut CVD TaC mempunyai kadar penjanaan zarah yang sangat rendah, sifat permukaan licin dengan ketara mengurangkan risiko pencemaran zarah, dengan itu meningkatkan ketulenan dan hasil semasa pertumbuhan epitaxial.

Memanjangkan hayat peralatan: Digabungkan dengan rintangan haus yang sangat baik dan rintangan kakisan pembawa salutan CVD TaC, ia memanjangkan hayat perkhidmatan komponen ruang tindak balas dengan ketara, mengurangkan masa henti peralatan dan kos penyelenggaraan, serta meningkatkan kecekapan pengeluaran.

Menggabungkan ciri-ciri di atas, pembawa Salutan TaC CVD Semikonduktor VeTek bukan sahaja meningkatkan kebolehpercayaan proses dan kualiti produk dalam proses pertumbuhan epitaxial, tetapi juga menyediakan penyelesaian kos efektif untuk pembuatan semikonduktor.

Sifat fizikal Pembawa Salutan TaC CVD:

Kedai Pengeluaran Salutan CVD SiC:

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor: