Pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi

VeTek Semiconductor menawarkan pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi yang disesuaikan. Diperbuat daripada silikon karbida ketulenan tinggi, ia mempunyai slot untuk menahan wafer di tempatnya, menghalangnya daripada menggelongsor semasa pemprosesan. Salutan SiC CVD juga tersedia jika diperlukan. Sebagai pengilang dan pembekal semikonduktor profesional dan kukuh, pembawa bot wafer SiC ketulenan Tinggi Semikonduktor VeTek adalah harga yang kompetitif dan berkualiti tinggi. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi VeTekSemi ialah komponen galas penting yang digunakan dalam relau penyepuhlindapan, relau resapan dan peralatan lain dalam proses pembuatan semikonduktor. Pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi biasanya diperbuat daripada bahan silikon karbida ketulenan tinggi dan terutamanya termasuk bahagian berikut:

• Badan sokongan bot: struktur yang serupa dengan kurungan, digunakan khas untuk membawawafer silikonatau bahan semikonduktor lain.

• Struktur sokongan: Reka bentuk struktur sokongan membolehkannya menanggung beban berat pada suhu tinggi dan tidak akan berubah bentuk atau rosak semasa rawatan suhu tinggi.

silicon carbide material

bahan silikon karbida

Sifat fizikal bagiKarbida Silikon Terhablur Semula：

Harta benda	Nilai Biasa
Suhu kerja (°C)	1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangkan persekitaran)
kandungan SiC	> 99.96%
Kandungan Si percuma	< 0.1%
Ketumpatan pukal	2.60-2.70 g/cm3
Keliangan yang ketara	< 16%
Kekuatan mampatan	> 600 MPa
Kekuatan lenturan sejuk	80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lenturan panas	90-100 MPa (1400°C)
Pengembangan terma @1500°C	4.70*10^-6/°C
Kekonduksian terma @1200°C	23 W/m•K
Modulus elastik	Modulus anjal240 GPa
Rintangan kejutan terma	Sangat baik

Jika keperluan proses pengeluaran lebih tinggi,Salutan SiC CVDboleh dilakukan pada pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi untuk menjadikan ketulenan mencapai lebih daripada 99.99995%, seterusnya meningkatkan rintangan suhu tingginya.

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD:

Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m^-1·K^-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Semasa rawatan suhu tinggi, pembawa bot wafer SiC ketulenan Tinggi membolehkan wafer silikon dipanaskan sama rata untuk mengelakkan terlalu panas setempat. Di samping itu, rintangan suhu tinggi bahan silikon karbida membolehkannya mengekalkan kestabilan struktur pada suhu 1200°C atau lebih tinggi. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Semasa proses penyebaran atau penyepuhlindapan, dayung julur dan pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi berfungsi bersama. Thedayung julurperlahan-lahan menolak pembawa bot wafer SiC ketulenan Tinggi yang membawa wafer silikon ke dalam ruang relau dan menghentikannya pada kedudukan yang ditetapkan untuk diproses.

Pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi mengekalkan sentuhan dengan wafer silikon dan dibetulkan pada kedudukan tertentu semasa proses rawatan haba, manakala dayung julur membantu mengekalkan keseluruhan struktur dalam kedudukan yang betul sambil memastikan keseragaman suhu.

Pengangkut bot wafer SiC ketulenan tinggi dan dayung julur berfungsi bersama untuk memastikan ketepatan dan kestabilan proses suhu tinggi.

Semikonduktor VeTekmenyediakan anda dengan pembawa bot wafer SiC ketulenan Tinggi yang disesuaikan mengikut keperluan anda. Mengharapkan pertanyaan anda.

Semikonduktor VeTekKedai pembawa bot wafer SiC ketulenan tinggi:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops