> Produk > Salutan Silikon Karbida > Teknologi MOCVD

produk baru

China Teknologi MOCVD Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mempunyai kelebihan dan pengalaman dalam alat ganti Teknologi MOCVD.

MOCVD, nama penuh Pemendapan Wap Kimia Logam-Organik (Pemendapan Wap Kimia logam-organik), juga boleh dipanggil epitaksi fasa wap logam-organik. Sebatian Organologam ialah kelas sebatian dengan ikatan logam-karbon. Sebatian ini mengandungi sekurang-kurangnya satu ikatan kimia antara logam dan atom karbon. Sebatian logam-organik sering digunakan sebagai prekursor dan boleh membentuk filem nipis atau struktur nano pada substrat melalui pelbagai teknik pemendapan.

Pemendapan wap kimia logam-organik (teknologi MOCVD) ialah teknologi pertumbuhan epitaxial biasa, teknologi MOCVD digunakan secara meluas dalam pembuatan laser semikonduktor dan led. Terutama apabila menghasilkan led, MOCVD ialah teknologi utama untuk penghasilan galium nitrida (GaN) dan bahan berkaitan.

Terdapat dua bentuk utama Epitaksi: Epitaksi Fasa Cecair (LPE) dan Epitaksi Fasa Wap (VPE). Epitaksi fasa gas boleh dibahagikan lagi kepada pemendapan wap kimia logam-organik (MOCVD) dan epitaksi rasuk molekul (MBE).

Pengeluar peralatan asing kebanyakannya diwakili oleh Aixtron dan Veeco. Sistem MOCVD ialah salah satu peralatan utama untuk pembuatan laser, led, komponen fotoelektrik, kuasa, peranti RF dan sel solar.

Ciri-ciri utama alat ganti teknologi MOCVD yang dikeluarkan oleh syarikat kami:

1) Ketumpatan tinggi dan enkapsulasi penuh: asas grafit secara keseluruhan berada dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis, permukaan mesti dibalut sepenuhnya, dan salutan mesti mempunyai ketumpatan yang baik untuk memainkan peranan perlindungan yang baik.

2) Kerataan permukaan yang baik: Oleh kerana asas grafit yang digunakan untuk pertumbuhan kristal tunggal memerlukan kerataan permukaan yang sangat tinggi, kerataan asal asas perlu dikekalkan selepas salutan disediakan, iaitu lapisan salutan mestilah seragam.

3) Kekuatan ikatan yang baik: Kurangkan perbezaan dalam pekali pengembangan terma antara asas grafit dan bahan salutan, yang boleh meningkatkan kekuatan ikatan antara kedua-duanya dengan berkesan, dan salutan tidak mudah retak selepas mengalami haba suhu tinggi dan rendah. kitaran.

4) Kekonduksian haba yang tinggi: pertumbuhan cip berkualiti tinggi memerlukan asas grafit untuk memberikan haba yang cepat dan seragam, jadi bahan salutan harus mempunyai kekonduksian terma yang tinggi.

5) Takat lebur yang tinggi, rintangan pengoksidaan suhu tinggi, rintangan kakisan: salutan harus dapat berfungsi secara stabil dalam suhu tinggi dan persekitaran kerja yang menghakis.

Letakkan substrat 4 inci
Epitaksi biru-hijau untuk pertumbuhan LED
Bertempat di ruang reaksi
Sentuhan langsung dengan wafer Letakkan substrat 4 inci
Digunakan untuk mengembangkan filem epitaxial LED UV
Bertempat di ruang reaksi
Sentuhan langsung dengan wafer Mesin Veeco K868/Veeco K700
Epitaksi LED putih/Epitaksi LED biru-hijau Digunakan dalam Peralatan VEECO
Untuk MOCVD Epitaxy
Suseptor Salutan SiC Peralatan Aixtron TS
Epitaksi Ultraviolet Dalam
Substrat 2 inci Peralatan Veeco
Epitaksi LED Merah-Kuning
Substrat Wafer 4 inci Susceptor Bersalut TaC
(SiC Epi/ Penerima LED UV) Suseptor Bersalut SiC
(ALD/ Si Epi/ Susceptor MOCVD LED)

View as

Segmen Penutup Salutan SiC

Vetek Semiconductor didedikasikan untuk kemajuan dan pengkomersilan salutan CVD SiC dan salutan CVD TaC. Sebagai ilustrasi, Segmen Penutup Salutan SiC kami menjalani pemprosesan yang teliti, menghasilkan salutan SiC CVD yang padat dengan ketepatan yang luar biasa. Ia mempamerkan ketahanan yang luar biasa terhadap suhu tinggi dan menawarkan perlindungan yang teguh terhadap kakisan. Kami mengalu-alukan pertanyaan anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Penerima MOCVD

Vetek Semiconductor memberi tumpuan kepada penyelidikan dan pembangunan serta perindustrian salutan CVD SiC dan salutan CVD TaC. Mengambil MOCVD Susceptor sebagai contoh, produk ini sangat diproses dengan ketepatan tinggi, salutan SIC CVD padat, rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan yang kuat. Siasatan kepada kami adalah dialu-alukan.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor Epitaxial MOCVD untuk Wafer 4"

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional, yang berdedikasi untuk menyediakan Susceptor Epitaxial MOCVD berkualiti tinggi untuk Wafer 4". dengan pengalaman industri yang kaya dan pasukan profesional, kami dapat menyampaikan penyelesaian yang pakar dan cekap kepada pelanggan kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Blok Suseptor Semikonduktor Bersalut SiC

Blok suseptor Semikonduktor VeTek Semiconductor bersalut SiC ialah peranti yang sangat boleh dipercayai dan tahan lama. Ia direka bentuk untuk menahan suhu tinggi dan persekitaran kimia yang keras sambil mengekalkan prestasi yang stabil dan jangka hayat yang panjang. Dengan keupayaan proses yang sangat baik, Semiconductor Susceptor Block SiC Coated mengurangkan kekerapan penggantian dan penyelenggaraan, sekali gus meningkatkan kecekapan pengeluaran. Kami menantikan peluang untuk bekerjasama dengan anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor MOCVD Bersalut SiC

Susceptor MOCVD Bersalut SiC Semiconductor VeTek ialah peranti dengan proses yang sangat baik, ketahanan dan kebolehpercayaan. Mereka boleh menahan suhu tinggi dan persekitaran kimia, mengekalkan prestasi yang stabil dan jangka hayat yang panjang, dengan itu mengurangkan kekerapan penggantian dan penyelenggaraan serta meningkatkan kecekapan pengeluaran. MOCVD Epitaxial Susceptor kami terkenal dengan ketumpatan tinggi, kerataan yang sangat baik dan kawalan haba yang sangat baik, menjadikannya peralatan pilihan dalam persekitaran pembuatan yang keras. Tidak sabar-sabar untuk bekerjasama dengan anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor Epitaxial GaN berasaskan silikon

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional, khusus untuk menyediakan Susceptor Epitaxial GaN berasaskan Silikon berkualiti tinggi. Semikonduktor susceptor digunakan dalam sistem VEECO K465i GaN MOCVD, ketulenan tinggi, rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, dialu-alukan untuk bertanya dan bekerjasama dengan kami!

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

<1 2 3 4 5 >

Sebagai pengilang dan pembekal profesional Teknologi MOCVD di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Teknologi MOCVD buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.