Apakah Salutan TaC?

Salutan TaC (Tantalum Carbide Coating) ialah bahan salutan berprestasi tinggi yang dihasilkan oleh proses pemendapan wap kimia (CVD). Oleh kerana sifat salutan TaC yang sangat baik di bawah keadaan yang melampau, ia digunakan secara meluas dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya dalam peralatan dan komponen yang memerlukan suhu tinggi dan persekitaran menghakis yang kuat. Salutan TaC biasanya digunakan untuk melindungi substrat (seperti grafit atau seramik) daripada kerosakan oleh suhu tinggi, gas menghakis dan haus mekanikal.

Ciri dan Kelebihan Produk

Kestabilan haba yang sangat tinggi:

Perihalan ciri: Salutan TaC mempunyai takat lebur lebih daripada 3880°C dan boleh mengekalkan kestabilan tanpa penguraian atau ubah bentuk dalam persekitaran suhu yang sangat tinggi.

Kelebihan: Ini menjadikannya bahan yang sangat diperlukan dalam peralatan semikonduktor suhu tinggi seperti Salutan TaC CVD dan Susceptor Bersalut TaC, terutamanya untuk aplikasi dalam reaktor MOCVD, seperti peralatan Aixtron G5.

Rintangan kakisan yang sangat baik:

Perihalan ciri: TaC mempunyai lengai kimia yang sangat kuat dan berkesan boleh menahan hakisan gas menghakis seperti klorida dan fluorida.

Kelebihan: Dalam proses semikonduktor yang melibatkan bahan kimia yang sangat menghakis, TaC Coating melindungi komponen peralatan daripada serangan kimia, memanjangkan hayat perkhidmatan dan meningkatkan kestabilan proses, terutamanya dalam penggunaan Silicon Carbide Wafer Boat dan komponen utama lain.

Kekerasan mekanikal yang sangat baik:

Perihalan ciri: Kekerasan salutan TaC adalah setinggi 9-10 Mohs, yang menjadikannya tahan terhadap haus mekanikal dan tekanan suhu tinggi.

Kelebihan: Sifat kekerasan yang tinggi menjadikan Salutan TaC amat sesuai digunakan dalam persekitaran haus tinggi dan tekanan tinggi, memastikan kestabilan jangka panjang dan kebolehpercayaan peralatan dalam keadaan yang teruk.

Kereaktifan kimia yang rendah:

Perihalan ciri: Disebabkan oleh lengai kimianya, Salutan TaC boleh mengekalkan kereaktifan rendah dalam persekitaran suhu tinggi dan mengelakkan tindak balas kimia yang tidak perlu dengan gas reaktif.

Kelebihan: Ini amat penting dalam proses pembuatan semikonduktor kerana ia memastikan ketulenan persekitaran proses dan pemendapan bahan berkualiti tinggi.

Peranan Salutan TaC dalam pemprosesan semikonduktor

Melindungi komponen peralatan utama:

Penerangan fungsi: Salutan TaC digunakan secara meluas dalam komponen utama peralatan pembuatan semikonduktor, seperti TaC Coated Susceptor, yang perlu berfungsi dalam keadaan yang melampau. Dengan menyalut dengan TaC, komponen ini boleh beroperasi untuk jangka masa yang lama dalam suhu tinggi dan persekitaran gas yang menghakis tanpa rosak.

Memanjangkan hayat peralatan:

Penerangan fungsi: Dalam peralatan MOCVD seperti Aixtron G5, TaC Coating boleh meningkatkan ketahanan komponen peralatan dengan ketara dan mengurangkan keperluan untuk penyelenggaraan dan penggantian peralatan akibat kakisan dan haus.

Meningkatkan kestabilan proses:

Penerangan fungsi: Dalam pembuatan semikonduktor, Salutan TaC memastikan keseragaman dan ketekalan proses pemendapan dengan menyediakan persekitaran suhu tinggi dan kimia yang stabil. Ini amat penting dalam proses pertumbuhan epitaksi seperti epitaksi silikon dan galium nitrida (GaN).

Meningkatkan kecekapan proses:

Penerangan fungsi: Dengan mengoptimumkan salutan pada permukaan peralatan, TaC Coating boleh meningkatkan kecekapan keseluruhan proses, mengurangkan kadar kecacatan dan meningkatkan hasil produk. Ini penting untuk pembuatan bahan semikonduktor berketepatan tinggi dan ketulenan tinggi.

Kestabilan terma yang tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik, kekerasan mekanikal dan kereaktifan kimia yang rendah yang dipamerkan oleh TaC Coating semasa pemprosesan semikonduktor menjadikannya pilihan yang ideal untuk melindungi komponen peralatan pembuatan semikonduktor. Memandangkan permintaan industri semikonduktor untuk suhu tinggi, ketulenan tinggi dan proses pembuatan yang cekap terus meningkat, TaC Coating mempunyai prospek aplikasi yang luas, terutamanya dalam peralatan dan proses yang melibatkan CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor dan Aixtron G5.

VeTek semikonduktor Technology Co., LTD ialah pembekal terkemuka bahan salutan termaju untuk industri semikonduktor. fokus syarikat kami untuk membangunkan penyelesaian termaju untuk industri.

Tawaran produk utama kami termasuk salutan silikon karbida (SiC) CVD, salutan tantalum karbida (TaC), salutan SiC pukal, serbuk SiC, dan bahan SiC ketulenan tinggi, susceptor grafit bersalut SiC, gelang prapanas, gelang lencongan bersalut TaC, bahagian separuh bulan, dsb. ., ketulenan di bawah 5ppm, boleh memenuhi keperluan pelanggan.

Semikonduktor VeTek memberi tumpuan kepada membangunkan teknologi termaju dan penyelesaian pembangunan produk untuk industri semikonduktor.Kami sangat berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.