Plat Sokongan Alas Salutan TaC

VeTek Semiconductor ialah pengilang & pembekal China yang kebanyakannya mengeluarkan suseptor salutan CVD TaC, Gelang masuk, Wafer Chunck, pemegang bersalut TaC, Plat Sokongan Alas Salutan TaC dengan pengalaman bertahun-tahun. Semoga dapat membina hubungan perniagaan dengan anda.

Seramik TaC mempunyai takat lebur sehingga 3880 ℃, kekerasan tinggi (kekerasan Mohs 9 ~ 10), kekonduksian terma yang besar (22W·m-1·K−1), kekuatan lenturan yang besar (340 ~ 400MPa), dan pengembangan haba yang kecil pekali (6.6×10−6K−1), dan menunjukkan kestabilan termokimia yang sangat baik dan sifat fizikal yang sangat baik. Ia mempunyai keserasian kimia dan mekanikal yang baik dengan bahan komposit grafit dan C/C, jadi salutan TaC digunakan secara meluas dalam perlindungan haba aeroangkasa, pertumbuhan kristal tunggal dan reaktor epitaxial seperti Aixtron, reaktor LPE EPI dalam industri semikonduktor. Grafit bersalut TaC mempunyai rintangan kakisan kimia yang lebih baik daripada dakwat batu kosong atau grafit bersalut SiC, boleh digunakan secara stabil pada suhu tinggi 2200°, tidak bertindak balas dengan banyak unsur logam, merupakan generasi ketiga pertumbuhan kristal tunggal semikonduktor, epitaksi dan adegan goresan wafer salutan prestasi terbaik, boleh meningkatkan proses kawalan suhu dan kekotoran dengan ketara, Penyediaan wafer silikon karbida berkualiti tinggi dan wafer epitaxial yang berkaitan. Ia amat sesuai untuk mengembangkan kristal tunggal GaN atau AlN dalam peralatan MOCVD dan kristal tunggal SiC dalam peralatan PVT, dan kualiti kristal tunggal yang ditanam jelas bertambah baik.

Salutan TaC dan salutan SiC Alat ganti yang boleh kami lakukan:

Parameter salutan TaC:

Rantaian Perindustrian:

Kedai Pengeluaran