Alat Ganti TaC Coating

VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional TaC Coating Plate dan alat ganti TaC Coating lain di China. Salutan TaC pada masa ini digunakan terutamanya dalam proses seperti pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (kaedah PVT), cakera epitaxial (termasuk epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), dll. Digabungkan dengan kestabilan jangka panjang yang baik bagi Plat Salutan TaC, TaC Semikonduktor VeTek Plat Coating telah menjadi penanda aras untuk alat ganti TaC Coating. Kami berharap anda menjadi rakan kongsi jangka panjang kami.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semikonduktor VeTekPlat Salutan TaCadalah bahan khas yang digunakan secara meluas dalamsemikonduktorproses pembuatan. Digabungkan dengan kekerasan yang tinggi dan rintangan haus, rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, pekali geseran rendah dan kekonduksian terma yang baik, Plat Salutan TaC memainkan peranan yang tidak boleh ditukar ganti dalam banyak pautan pemprosesan semikonduktor.

Secara amnya, aplikasi bagiPlat bersalut TaCdalam pemprosesan semikonduktor adalah seperti berikut:

Substrat pertumbuhan CVD/ALD: Rintangan suhu tinggi, kestabilan kimia dan pekali geseran rendah plat bersalut TaC menjadikannya substrat pertumbuhan CVD/ALD yang ideal. Ia boleh menyediakan persekitaran pertumbuhan yang stabil untuk memastikan keseragaman dan ketumpatan filem.

Mengukir plat topeng: Kekerasan tinggi dan rintangan kakisan plat bersalut TaC membolehkannya menahan proses tenaga tinggi seperti etsa plasma, sebagai plat topeng goresan, melindungi filem asas.

pad penggilap CMP: Rintangan haus dan pekali geseran rendah plat bersalut TaC menjadikannya bahan yang sesuai untuk pad penggilap CMP, yang boleh menghilangkan zarah dan kecacatan pada permukaan filem dengan berkesan.

Tiub relau suhu tinggi: Rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan plat bersalut TaC membolehkannya digunakan sebagai tiub relau dalam relau suhu tinggi untuk penyepuhlindapan suhu tinggi, resapan dan proses lain.

Digabungkan dengan ciri-ciri produkPlat Salutan TaC, ia menentukan bahawa produk ini memainkan peranan penting yang tidak boleh ditukar ganti dalam meningkatkan prestasi peranti, memanjangkan hayat peralatan dan meningkatkan kecekapan pengeluaran.

Sebagai pengilang profesionalGaN pada penerima epi SiC, Grafit berliangdanPlat Salutan TaCdi China, VeTek Semiconductor sentiasa berkeras untuk menyediakan perkhidmatan produk tersuai, dan komited untuk menyediakan industri dengan penyelesaian teknologi dan produk terbaik. Kami amat mengharapkan perundingan anda selanjutnya.

CVD TAC COATING Parameter Teknikal：