> Produk > Salutan Silikon Karbida > Epitaksi Silikon > Susceptor Pancake Bersalut SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6''

produk baru

Susceptor Pancake Bersalut SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6''

VeTek Semiconductor ialah Susceptor Pancake Bersalut SiC terkemuka untuk pengilang dan inovator wafer LPE PE3061S 6'' di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan susceptor pancake bersalut SiC yang direka khusus untuk wafer LPE PE3061S 6" . Susceptor epitaxial ini mempunyai rintangan kakisan yang tinggi, prestasi pengaliran haba yang baik, keseragaman yang baik.Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Sebagai pengilang profesional, VeTek Semiconductor ingin memberikan anda SiC Coated Pancake Susceptor berkualiti tinggi untuk wafer LPE PE3061S 6''.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor untuk wafer LPE PE3061S 6" ialah peralatan kritikal yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor.

Susceptor Pancake Bersalut SiC untuk wafer LPE PE3061S 6" Ciri-ciri Produk:

Kestabilan suhu tinggi: SiC mempamerkan kestabilan suhu tinggi yang sangat baik, mengekalkan struktur dan prestasinya dalam persekitaran suhu tinggi.

Kekonduksian terma yang luar biasa: SiC mempunyai kekonduksian terma yang luar biasa, membolehkan pemindahan haba yang pantas dan seragam untuk pemanasan yang cepat dan sekata.

Rintangan kakisan: SiC mempunyai kestabilan kimia yang sangat baik, menentang kakisan dan pengoksidaan dalam pelbagai persekitaran pemanasan.

Pengagihan pemanasan seragam: Pembawa wafer bersalut SiC menyediakan pengedaran pemanasan seragam, memastikan suhu sekata merentasi permukaan wafer semasa pemanasan.

Sesuai untuk pengeluaran semikonduktor: Pembawa wafer Si epitaxy digunakan secara meluas dalam proses pembuatan semikonduktor, terutamanya untuk pertumbuhan Si epitaksi dan proses pemanasan suhu tinggi yang lain.

Kelebihan produk:

Kecekapan pengeluaran yang dipertingkatkan: Susceptor penkek bersalut SiC membolehkan pemanasan pantas dan seragam, mengurangkan masa pemanasan dan meningkatkan kecekapan pengeluaran.

Kualiti produk yang terjamin: Pengedaran pemanasan yang seragam memastikan konsistensi semasa pemprosesan wafer, yang membawa kepada kualiti produk yang lebih baik.

Jangka hayat peralatan lanjutan: Bahan SiC menawarkan rintangan haba yang sangat baik dan kestabilan kimia, menyumbang kepada jangka hayat susceptor pancake yang lebih lama.

Penyelesaian tersuai: Susceptor bersalut SiC, pembawa wafer Si epitaxy boleh disesuaikan dengan saiz dan spesifikasi yang berbeza berdasarkan keperluan pelanggan.

SEM data and structure of CVD SIC films

Sifat fizikal asas salutan CVD SiC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1

Kedai Pengeluaran Semikonduktor VeTek

VeTek Semiconductor Production Shop

Gambaran keseluruhan rantaian industri epitaksi cip semikonduktor:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Teg Panas: Susceptor Pancake Bersalut SiC untuk Wafer LPE PE3061S 6'', China, Pengilang, Pembekal, Kilang, Disesuaikan, Beli, Termaju, Tahan Lama, Buatan China

Tag Produk

Kategori Berkaitan