Kepala Pancuran Silikon Karbida

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal utama produk Silicon Carbide Shower Head di China. Kepala Pancuran SiC mempunyai toleransi suhu tinggi yang sangat baik, kestabilan kimia, kekonduksian terma dan prestasi pengedaran gas yang baik, yang boleh mencapai pengedaran gas seragam dan meningkatkan kualiti filem. Oleh itu, ia biasanya digunakan dalam proses suhu tinggi seperti pemendapan wap kimia (CVD) atau proses pemendapan wap fizikal (PVD). Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Kepala Pancuran Silikon Karbida Semikonduktor VeTek terutamanya diperbuat daripada SiC. Dalam pemprosesan semikonduktor, fungsi utama Kepala Pancuran Silicon Carbide adalah untuk mengagihkan gas tindak balas secara sama rata untuk memastikan pembentukan filem seragam semasapemendapan wap kimia (CVD)ataupemendapan wap fizikal (PVD)proses. Oleh kerana sifat SiC yang sangat baik seperti kekonduksian terma yang tinggi dan kestabilan kimia, Kepala Pancuran SiC boleh berfungsi dengan cekap pada suhu tinggi, mengurangkan ketidaksamaan aliran gas semasaproses pemendapan, dan dengan itu meningkatkan kualiti lapisan filem.

Kepala Pancuran Silikon Karbida boleh mengagihkan gas tindak balas secara sama rata melalui pelbagai muncung dengan apertur yang sama, memastikan aliran gas seragam, mengelakkan kepekatan tempatan yang terlalu tinggi atau terlalu rendah, dan dengan itu meningkatkan kualiti filem. Digabungkan dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan kestabilan kimiaCVD SiC, tiada zarah atau bahan cemar dilepaskan semasaproses pemendapan filem, yang penting untuk mengekalkan ketulenan pemendapan filem.

Di samping itu, satu lagi kelebihan utama Kepala Pancuran SiC CVD ialah ketahanannya terhadap ubah bentuk haba. Ciri ini memastikan bahawa komponen boleh mengekalkan kestabilan struktur fizikal walaupun dalam persekitaran suhu tinggi yang biasa dalam proses pemendapan wap kimia (CVD) atau pemendapan wap fizikal (PVD). Kestabilan meminimumkan risiko salah jajaran atau kegagalan mekanikal, dengan itu meningkatkan kebolehpercayaan dan hayat perkhidmatan keseluruhan peranti.

Sebagai pengeluar dan pembekal Kepala Pancuran Silikon Karbida terkemuka di China. Kelebihan terbesar Kepala Pancuran Silikon Karbida CVD Semikonduktor VeTek ialah keupayaan untuk menyediakan produk dan perkhidmatan teknikal yang disesuaikan. Kelebihan perkhidmatan tersuai kami boleh memenuhi keperluan berbeza pelanggan yang berbeza untuk kemasan permukaan. Khususnya, ia menyokong penyesuaian halus pemprosesan matang dan teknologi pembersihan semasa proses pembuatan.

Di samping itu, dinding dalam liang Kepala Pancuran Silikon Karbida Semikonduktor VeTek dirawat dengan teliti untuk memastikan tiada lapisan kerosakan yang tersisa, meningkatkan prestasi keseluruhan dalam keadaan yang melampau. Selain itu, Kepala Pancuran SiC CVD kami mampu mencapai apertur minimum 0.2 mm, dengan itu mencapai ketepatan penghantaran gas yang sangat baik dan mengekalkan aliran gas yang optimum dan kesan pemendapan filem nipis semasa pembuatan semikonduktor.

DATA SEM DARISTRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Sifat fizikal asas CVD Salutan SiC：

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m^-1·K^-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1