Alas Silikon

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal ialah komponen utama dalam proses resapan dan pengoksidaan semikonduktor. Sebagai platform khusus untuk membawa bot silikon dalam relau suhu tinggi, Silicon Pedestal mempunyai banyak kelebihan unik, termasuk keseragaman suhu yang lebih baik, kualiti wafer yang dioptimumkan dan prestasi peranti semikonduktor yang dipertingkatkan. Untuk maklumat lanjut produk, sila hubungi kami.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Susceptor silikon Semikonduktor VeTek ialah produk silikon tulen yang direka untuk memastikan kestabilan suhu dalam tiub reaktor haba semasa pemprosesan wafer silikon, dengan itu meningkatkan kecekapan penebat haba. Pemprosesan wafer silikon adalah proses yang sangat tepat, dan suhu memainkan peranan penting, secara langsung mempengaruhi ketebalan dan keseragaman filem wafer silikon.

Pedestal silikon terletak di bahagian bawah tiub reaktor haba relau, menyokong silikonpembawa wafersambil menyediakan penebat haba yang berkesan. Pada akhir proses, ia secara beransur-ansur menyejuk ke suhu ambien bersama-sama dengan pembawa wafer silikon.

Fungsi Teras dan Faedah Pedestal Silikon Semikonduktor VeTek:

Sediakan sokongan yang stabil untuk memastikan ketepatan proses

Pedestal silikon menyediakan platform sokongan yang stabil dan sangat tahan haba untuk bot silikon dalam ruang relau suhu tinggi. Kestabilan ini berkesan boleh menghalang bot silikon daripada beralih atau condong semasa pemprosesan, dengan itu mengelakkan menjejaskan keseragaman aliran udara atau memusnahkan taburan suhu, memastikan ketepatan dan ketekalan proses yang tinggi.

Meningkatkan keseragaman suhu dalam relau dan meningkatkan kualiti wafer

Dengan mengasingkan bot silikon daripada sentuhan langsung dengan bahagian bawah atau dinding relau, asas silikon boleh mengurangkan kehilangan haba yang disebabkan oleh pengaliran, dengan itu mencapai taburan suhu yang lebih seragam dalam tiub tindak balas haba. Persekitaran terma seragam ini penting untuk mencapai keseragaman resapan wafer dan lapisan oksida, meningkatkan kualiti keseluruhan wafer.

Optimumkan prestasi penebat haba dan mengurangkan penggunaan tenaga

Sifat penebat haba yang sangat baik bagi bahan asas silikon membantu mengurangkan kehilangan haba dalam ruang relau, dengan itu meningkatkan kecekapan tenaga proses dengan ketara. Mekanisme pengurusan haba yang cekap ini bukan sahaja mempercepatkan kitaran pemanasan dan penyejukan, tetapi juga mengurangkan penggunaan tenaga dan kos operasi, memberikan penyelesaian yang lebih menjimatkan untuk pembuatan semikonduktor.

Spesifikasi VeTek Semiconductor Silicon Pedestal

Struktur Produk	Bersepadu, Kimpalan
Jenis Konduktif/Doping	Adat
Kerintangan	Rintangan Rendah (E.G.<0.015,<0.02...). ;
	Rintangan Sederhana (E.G.1-4);
	Rintangan Tinggi (E.G. 60-90);
	Penyesuaian Pelanggan
Jenis Bahan	Polihablur/Kristal Tunggal
Orientasi Kristal	Disesuaikan