Susceptor wafer bersalut TaC

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor ialah dulang grafit yang disalut dengan tantalum karbida untuk pertumbuhan epitaxial silikon karbida untuk meningkatkan kualiti dan prestasi wafer. VeTek dipilih kerana teknologi salutan termaju dan penyelesaian tahan lama untuk memastikan hasil epitaksi SiC yang cemerlang dan hayat susceptor yang dilanjutkan, mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Susceptor wafer bersalut VeTek Semiconductor TaC ialah komponen utama yang digunakan dalamPemendapan Wap Kimia Logam-Organik (MOCVD)reaktor untukproses semikonduktor epitaxial (epi).. Tapak bulat khusus ini diperbuat daripada grafit berkualiti tinggi dan disalut dengan lapisan Tantalum Carbide (TaC), yang terkenal dengan sifat terma dan kimianya yang luar biasa.

Fungsi utama salutan TaC adalah untuk meningkatkan prestasi dan ketahanan susceptor wafer di bawah keadaan keras pembuatan semikonduktor. Tantalum Carbide terkenal dengan kekerasan, takat lebur yang tinggi, dan rintangan haus yang luar biasa, menjadikannya lapisan pelindung yang ideal. Salutan ini melindungi asas grafit di bawahnya daripada tindak balas kimia yang menghakis dan tegasan mekanikal yang berlaku dalamreaktor MOCVD, memanjangkan jangka hayat peralatan dan meningkatkan kebolehpercayaan.

Semasa pertumbuhan epitaxial bahan semikonduktor, susceptor wafer bersalut TaC memainkan peranan penting dengan memastikan pemendapan filem yang tepat. Rintangannya terhadap suhu tinggi dan persekitaran kimia yang keras adalah penting untuk pengeluaran peranti semikonduktor yang tepat, membolehkan peralatan berfungsi dengan stabil dalam keadaan proses yang menuntut.

Gabungan ateras grafitdanSalutan TaCmemastikan pengagihan haba seragam merentasi susceptor, yang penting untuk meningkatkan kebolehulangan dan kualiti lapisan semikonduktor yang ditanam semasa proses MOCVD. Reka bentuk bahan termaju ini bukan sahaja memberikan ketahanan tetapi juga memenuhi permintaan ketat pembuatan semikonduktor moden untuk komponen elektronik berprestasi tinggi.

Sebagai pembekal dan pengilang utama susceptor wafer bersalut TaC, VeTek Semiconductor komited untuk menyampaikan penyelesaian teknikal berkualiti tinggi untuk industri semikonduktor. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi anda yang dipercayai jangka panjang di China, menawarkan produk yang boleh dipercayai dan disesuaikan.

Kedai susceptor wafer bersalut VeTek Semiconductor TaC:

TaC coated wafer susceptor shops