Cincin Panduan Salutan TaC

Sebagai pengeluar terkemuka produk TaC Coating Guide Rings di China, VeTek Semiconductor TaC coated guide rings merupakan komponen penting dalam peralatan MOCVD, memastikan penghantaran gas yang tepat dan stabil semasa pertumbuhan epitaxial, dan merupakan bahan yang sangat diperlukan dalam pertumbuhan epitaxial semikonduktor. Selamat datang untuk berunding dengan kami.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Fungsi Cincin Panduan Salutan TaC:

Kawalan Aliran Gas yang Tepat: TheCincin Panduan Salutan TaCterletak secara strategik dalam sistem suntikan gasreaktor MOCVD. fungsi utamanya adalah untuk mengarahkan aliran gas prekursor dan memastikan pengedaran seragamnya merentasi permukaan wafer substrat. Kawalan tepat ke atas dinamik aliran gas ini adalah penting untuk mencapai pertumbuhan lapisan epitaxial yang seragam dan sifat bahan yang diingini.

Pengurusan Terma: Cincin Panduan Salutan TaC selalunya beroperasi pada suhu tinggi kerana berdekatan dengan suseptor dan substrat yang dipanaskan. Kekonduksian terma yang sangat baik dari TaC membantu menghilangkan haba dengan berkesan, menghalang pemanasan lampau setempat dan mengekalkan profil suhu yang stabil dalam zon tindak balas.

Kelebihan TaC dalam MOCVD:

Rintangan Suhu Melampau: TaC mempunyai salah satu takat lebur tertinggi di antara semua bahan, melebihi 3800°C.

Kelalaian Kimia yang Luar Biasa: TaC mempamerkan rintangan yang luar biasa terhadap kakisan dan serangan kimia daripada gas prekursor reaktif yang digunakan dalam MOCVD, seperti ammonia, silane, dan pelbagai sebatian logam-organik.

Sifat fizikal bagiSalutan TaC:

Sifat fizikal bagiSalutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Thermal expansion coefficient	6.3*10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10^-5Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Faedah untuk Prestasi MOCVD:

Penggunaan Gelang Panduan Salutan TaC semikonduktor VeTek dalam peralatan MOCVD menyumbang dengan ketara kepada:

Peningkatan Masa Beroperasi Peralatan: Ketahanan dan jangka hayat lanjutan Cincin Panduan Salutan TaC mengurangkan keperluan untuk penggantian yang kerap, meminimumkan masa henti penyelenggaraan dan memaksimumkan kecekapan operasi sistem MOCVD.

Kestabilan Proses yang Dipertingkatkan: Kestabilan terma dan lengai kimia TaC menyumbang kepada persekitaran tindak balas yang lebih stabil dan terkawal dalam ruang MOCVD, meminimumkan variasi proses dan meningkatkan kebolehulangan.

Keseragaman Lapisan Epitaxial yang Diperbaiki: Kawalan aliran gas yang tepat difasilitasi oleh Cincin Panduan Salutan TaC memastikan pengedaran prekursor seragam, menghasilkan sangat seragampertumbuhan lapisan epitaxialdengan ketebalan dan komposisi yang konsisten.

Salutan tantalum karbida (TaC).pada keratan rentas mikroskopik:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

Teg Panas: Cincin Panduan Salutan TaC, Pengilang, Pembekal, Cincin Salutan TaC untuk MOCVD, Disesuaikan, Cincin Panduan Salutan TaC, Tahan Lama, Buatan China

Tag Produk

Kategori Berkaitan