TaC Coating Planetary Susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor ialah produk yang luar biasa untuk peralatan epitaksi Aixtron. Salutan TaC yang teguh memberikan rintangan suhu tinggi yang sangat baik dan lengai kimia. Gabungan unik ini memastikan prestasi yang boleh dipercayai dan hayat perkhidmatan yang panjang, walaupun dalam persekitaran yang mencabar. VeTek komited untuk menyediakan produk berkualiti tinggi dan berkhidmat sebagai rakan kongsi jangka panjang dalam pasaran China dengan harga yang kompetitif.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Dalam bidang pembuatan semikonduktor, TaC Coating Planetary Susceptor memainkan peranan yang penting. Ia digunakan secara meluas dalam pertumbuhan lapisan epitaxial silikon karbida (SiC) dalam peralatan seperti sistem Aixtron G5. Tambahan pula, apabila digunakan sebagai cakera luar dalam pemendapan salutan tantalum karbida (TaC) untuk epitaksi SiC, TaC Coating Planetary Susceptor memberikan sokongan dan kestabilan yang penting. Ia memastikan pemendapan seragam lapisan tantalum karbida, menyumbang kepada pembentukan lapisan epitaxial berkualiti tinggi dengan morfologi permukaan yang sangat baik dan ketebalan filem yang diingini. Kelonggaran kimia salutan TaC menghalang tindak balas dan pencemaran yang tidak diingini, mengekalkan integriti lapisan epitaxial dan memastikan kualiti unggulnya.

Kekonduksian terma luar biasa lapisan TaC membolehkan pemindahan haba yang cekap, menggalakkan pengagihan suhu seragam dan meminimumkan tekanan haba semasa proses pertumbuhan epitaxial. Ini menghasilkan penghasilan lapisan epitaxial SiC berkualiti tinggi dengan sifat kristalografi yang lebih baik dan kekonduksian elektrik yang dipertingkatkan.

Dimensi yang tepat dan pembinaan mantap Cakera Planetary Salutan TaC memudahkan untuk disepadukan ke dalam sistem sedia ada, memastikan keserasian yang lancar dan operasi yang cekap. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan TaC berkualiti tinggi menyumbang kepada keputusan yang konsisten dan seragam dalam proses epitaksi SiC.

Percayai Semikonduktor VeTek dan Cakera Planetari Salutan TaC kami untuk prestasi dan kebolehpercayaan yang luar biasa dalam epitaksi SiC. Alami kelebihan penyelesaian inovatif kami, meletakkan anda di barisan hadapan kemajuan teknologi dalam industri semikonduktor.

Salutan TaC dan salutan SiC alat ganti yang kami bekalkan:

Parameter produk Susceptor Planetary Salutan TaC:

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10-5 Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)