Chuck Bersalut Tantalum Carbide

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Tantalum Carbide Coated Chuck terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam lapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami mempunyai ketulenan tinggi dan rintangan suhu tinggi sehingga 2000℃. Kami berharap untuk menjadi jangka panjang anda rakan kongsi di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Semikonduktor VeTek membekalkan Chuck Bersalut Tantalum Carbide berkualiti tinggi, bahagian salutan SiC dengan harga yang kompetitif. Selamat datang untuk menyiasat kami. Chuck Bersalut Tantalum Carbide Semiconductor VeTek, direka khusus untuk sistem AIXTRON G10 MOCVD. Aksesori ini meningkatkan kecekapan dan kualiti dalam pembuatan semikonduktor, memberikan prestasi dan kebolehpercayaan yang cemerlang.

Dibuat daripada bahan berkualiti tinggi dan dihasilkan dengan ketepatan, chuck ini mempunyai substrat grafit yang disalut dengan tantalum karbida (TaC) CVD. Salutan ini memberikan kestabilan haba yang sangat baik, ketulenan tinggi, dan ketahanan terhadap suhu tinggi. Ia memastikan prestasi yang boleh dipercayai dalam keadaan menuntut proses MOCVD.

Chuck boleh disesuaikan untuk menampung saiz wafer semikonduktor yang berbeza, menjadikannya sesuai untuk pelbagai keperluan pengeluaran. Pembinaannya yang teguh meminimumkan masa henti dan kos penyelenggaraan yang berkaitan dengan pembawa wafer dan susceptor.

Dengan VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, sistem AIXTRON G10 MOCVD mencapai kecekapan yang lebih tinggi dan hasil yang unggul dalam pembuatan semikonduktor. Kestabilan haba yang luar biasa, keserasian dengan saiz wafer yang berbeza, dan prestasi yang boleh dipercayai menjadikannya alat penting untuk mengoptimumkan kecekapan pengeluaran dan mencapai hasil yang cemerlang dalam persekitaran MOCVD yang mencabar.

Parameter produk Chuck Bersalut Tantalum Carbide

Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus	0.3
Pekali pengembangan terma	6.3 10-6/K
Kekerasan (HK)	2000 HK
Rintangan	1×10-5 Ohm*cm
Kestabilan terma	<2500 ℃
Perubahan saiz grafit	-10~-20um
Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)