VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan peneraju produk Tantalum Carbide Guide Ring di China. Cincin Panduan Tantalum Carbide (TaC) kami ialah komponen cincin berprestasi tinggi yang diperbuat daripada tantalum karbida, yang biasanya digunakan dalam peralatan pemprosesan semikonduktor, terutamanya dalam persekitaran suhu tinggi dan sangat menghakis seperti CVD, PVD, etsa dan resapan. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor, dan mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.
Semikonduktor VeTekPanduan Tantalum Carbide Ringdihasilkan daripadagrafitdandisalut dengan tantalum karbida, gabungan yang memanfaatkan sifat terbaik kedua-dua bahan untuk memastikan prestasi unggul dan tahan lama.
TheSalutan TaCpada Cincin Panduan Karbida Tantalum memastikan ia kekal lengai secara kimia dalam atmosfera reaktif relau pertumbuhan kristal SiC, yang selalunya melibatkan gas seperti hidrogen, argon, dan nitrogen. Lengai kimia ini adalah penting untuk mengelakkan sebarang pencemaran kristal yang semakin meningkat, yang boleh menyebabkan kecacatan dan penurunan prestasi produk semikonduktor akhir. Selain itu, kestabilan terma yang disediakan oleh salutan TaC membolehkan Cincin Panduan Salutan Karbida Tantalum beroperasi dengan berkesan pada suhu tinggi yang diperlukan untukPertumbuhan kristal SiC, biasanya melebihi 2000°C.
Selain itu, gabungan grafit dan TaC dalam Cincin Salutan Tantalum Carbide mengoptimumkan pengurusan terma dalam relau pertumbuhan kristal. Kekonduksian terma grafit yang tinggi dengan cekap mengagihkan haba, menghalang titik panas dan menggalakkan pertumbuhan kristal yang seragam. Sementara itu, salutan Tantalum Carbide berfungsi sebagai penghalang haba, melindungi teras grafit daripada pendedahan langsung kepada suhu tinggi dan gas reaktif. Sinergi antara bahan teras dan salutan ini menghasilkan cincin panduan yang bukan sahaja menahan keadaan keras pertumbuhan kristal SiC tetapi juga meningkatkan kecekapan dan kualiti keseluruhan proses.
Sifat mekanikal VeTek Semiconductor Tantalum Carbide sangat mengurangkan haus dan lusuh pada Cincin Salutan Tantalum Carbide. Ini penting kerana sifat berulang-ulangproses pertumbuhan kristal, yang mendedahkan cincin panduan kepada kitaran haba yang kerap dan tegasan mekanikal. Kekerasan dan rintangan haus Tantalum Carbide memastikan cincin panduan mengekalkan integriti struktur dan dimensi yang tepat dalam tempoh yang lama, meminimumkan keperluan untuk penggantian yang kerap dan mengurangkan masa henti dalam proses pembuatan.
Cincin Panduan Salutan Tantalum Carbide Semikonduktor VeTek ialah komponen penting dalam industri semikonduktor, direka khusus untuk pertumbuhanKristal silikon karbida. Reka bentuknya memanfaatkan kekuatan grafit dan tantalum karbida untuk memberikan prestasi luar biasa dalam persekitaran suhu tinggi dan tekanan tinggi. Salutan TaC memastikan lengai kimia, ketahanan mekanikal dan kestabilan terma, yang semuanya penting untuk menghasilkan kristal SiC berkualiti tinggi. Dengan mengekalkan integriti dan fungsinya dalam keadaan yang melampau, cincin panduan menyokong pertumbuhan kristal SiC yang cekap dan bebas kecacatan, menyumbang kepada kemajuan peranti semikonduktor berkuasa tinggi dan frekuensi tinggi.
Salutan tantalum karbida (TaC) pada keratan rentas mikroskopik:
Sifat fizikal salutan TaC:
Sifat fizikal salutan TaC
Ketumpatan
14.3 (g/cm³)
Pemancaran khusus
0.3
Pekali pengembangan terma
6.3*10-6/K
Kekerasan (HK)
2000 HK
Rintangan
1×10-5Ohm*cm
Kestabilan terma
<2500 ℃
Perubahan saiz grafit
-10~-20um
Ketebalan salutan
≥20um nilai biasa (35um±10um)