Susceptor Pancake SiC CVD

Sifat fizikal yang unggul

Semikonduktor VeTek Susceptor Pancake SiC CVD dihasilkan menggunakan teknologi pemendapan wap kimia (CVD) terkini untuk memastikan ketahanan yang sangat baik dan kebolehsuaian suhu yang melampau. Berikut adalah sifat fizikal utamanya:

● Kestabilan terma: Kestabilan haba yang tinggi bagi CVD SiC memastikan prestasi yang stabil di bawah keadaan suhu tinggi.

● Pekali pengembangan haba yang rendah: Bahan ini mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat rendah, yang meminimumkan ledingan dan ubah bentuk yang disebabkan oleh perubahan suhu.

● Rintangan kakisan kimia: Rintangan kimia yang sangat baik membolehkannya mengekalkan prestasi tinggi dalam pelbagai persekitaran yang keras.

Sokongan tepat dan pemindahan haba yang dioptimumkan

Salutan SiC berasaskan Pancake Susceptor VeTekSemi direka untuk menampung wafer semikonduktor dan memberikan sokongan yang sangat baik semasa pemendapan epitaxial. Susceptor Pancake SiC direka menggunakan teknologi simulasi pengiraan lanjutan untuk meminimumkan ledingan dan ubah bentuk di bawah keadaan suhu dan tekanan yang berbeza. Pekali pengembangan haba tipikalnya ialah kira-kira 4.0 × 10^^-6/°C, yang bermaksud bahawa kestabilan dimensinya jauh lebih baik daripada bahan tradisional dalam persekitaran suhu tinggi, dengan itu memastikan ketekalan ketebalan wafer (biasanya 200 mm hingga 300 mm).

Selain itu, CVD Pancake Susceptor cemerlang dalam pemindahan haba, dengan kekonduksian terma sehingga 120 W/m·K. Kekonduksian haba yang tinggi ini boleh mengalirkan haba dengan cepat dan berkesan, meningkatkan keseragaman suhu dalam relau, memastikan pengagihan haba seragam semasa pemendapan epitaxial, dan mengurangkan kecacatan pemendapan yang disebabkan oleh haba yang tidak sekata. Prestasi pemindahan haba yang dioptimumkan adalah penting untuk meningkatkan kualiti pemendapan, yang boleh mengurangkan turun naik proses secara berkesan dan meningkatkan hasil.

Melalui pengoptimuman reka bentuk dan prestasi ini, VeTek Semiconductor's CVD SiC Pancake Susceptor menyediakan asas yang kukuh untuk pembuatan semikonduktor, memastikan kebolehpercayaan dan konsistensi di bawah keadaan pemprosesan yang keras dan memenuhi keperluan ketat industri semikonduktor moden untuk ketepatan dan kualiti yang tinggi.

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1