penerima EPI

Susceptor EPI Semiconductor VeTek direka untuk aplikasi peralatan epitaxial yang menuntut. Struktur grafit bersalut silikon karbida (SiC) ketulenan tingginya menawarkan rintangan haba yang sangat baik, keseragaman terma seragam untuk ketebalan dan rintangan lapisan epitaxial yang konsisten, dan rintangan kimia yang tahan lama. Kami berharap dapat bekerjasama dengan anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

VeTek Semiconductor ialah peneraju profesional Penerima EPI China, Penerima Planet ALD, Pengilang Penerima Grafit Bersalut TaC.

Susceptor EPI Semikonduktor VeTek ialah komponen penting pertumbuhan epitaxial Dalam proses pembuatan semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk menyokong dan memanaskan wafer supaya lapisan epitaxial berkualiti tinggi dapat ditanam secara seragam pada permukaan wafer.

Suseptor EPI Semikonduktor VeTek biasanya diperbuat daripada grafit ketulenan tinggi dan disalut dengan lapisan silikon karbida (SiC). Reka bentuk ini mempunyai kelebihan utama berikut:

Kestabilan suhu tinggi: Susceptor EPI boleh kekal stabil dalam persekitaran suhu tinggi, memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial.

Rintangan kakisan: Salutan SiC mempunyai rintangan kakisan yang sangat baik dan boleh menahan hakisan gas kimia, memanjangkan hayat perkhidmatan dulang.

Kekonduksian terma: Kekonduksian haba yang tinggi bagi bahan SiC memastikan pengagihan suhu seragam wafer semasa pemanasan, dengan itu meningkatkan kualiti lapisan epitaxial.

Padanan pekali pengembangan terma: Pekali pengembangan terma SiC adalah serupa dengan grafit, mengelakkan masalah penumpahan salutan akibat pengembangan dan pengecutan haba.

Sifat fizikal asas bagipenerima EPI: