Apakah Salutan TAC CVD?

Seperti yang kita semua tahu,TaCmempunyai takat lebur sehingga 3880°C, kekuatan mekanikal yang tinggi, kekerasan, rintangan kejutan haba; lengai kimia yang baik dan kestabilan terma kepada ammonia, hidrogen, wap yang mengandungi silikon pada suhu tinggi.

Salutan TAC CVD, pemendapan wap kimia (CVD) daripadasalutan tantalum karbida (TaC)., ialah satu proses untuk membentuk salutan berketumpatan tinggi dan tahan lama pada substrat (biasanya grafit). Kaedah ini melibatkan mendepositkan TaC pada permukaan substrat pada suhu tinggi, menghasilkan salutan dengan kestabilan haba yang sangat baik dan rintangan kimia.

Kelebihan utama salutan CVD TaC termasuk:

Kestabilan haba yang sangat tinggi: boleh menahan suhu melebihi 2200°C.

Rintangan kimia: berkesan boleh menahan bahan kimia yang keras seperti hidrogen, ammonia dan wap silikon.

Lekatan yang kuat: memastikan perlindungan tahan lama tanpa delaminasi.

Kesucian yang tinggi: meminimumkan kekotoran, menjadikannya sesuai untuk aplikasi semikonduktor.

Salutan ini amat sesuai untuk persekitaran yang memerlukan ketahanan yang tinggi dan rintangan kepada keadaan yang melampau, seperti pembuatan semikonduktor dan proses perindustrian suhu tinggi.

Dalam pengeluaran perindustrian, bahan grafit (komposit karbon-karbon) yang disalut dengan salutan TaC berkemungkinan besar menggantikan grafit ketulenan tinggi tradisional, salutan pBN, bahagian salutan SiC, dll. Selain itu, dalam bidang aeroangkasa, TaC mempunyai potensi besar untuk digunakan sebagai salutan anti-pengoksidaan dan anti-ablasi suhu tinggi, dan mempunyai prospek aplikasi yang luas. Walau bagaimanapun, masih terdapat banyak cabaran untuk mencapai penyediaan salutan TaC yang padat, seragam, tidak mengelupas pada permukaan grafit dan menggalakkan pengeluaran besar-besaran industri.

Dalam proses ini, meneroka mekanisme perlindungan salutan, menginovasi proses pengeluaran, dan bersaing dengan peringkat asing teratas adalah penting untuk pertumbuhan kristal semikonduktor generasi ketiga dan epitaksi.