Nozel Salutan CVD SiC

Nozel Salutan SiC CVD Semikonduktor Vetek ialah komponen penting yang digunakan dalam proses epitaksi LPE SiC untuk mendepositkan bahan silikon karbida semasa pembuatan semikonduktor. Muncung ini biasanya diperbuat daripada bahan silikon karbida suhu tinggi dan stabil secara kimia untuk memastikan kestabilan dalam persekitaran pemprosesan yang keras. Direka bentuk untuk pemendapan seragam, ia memainkan peranan penting dalam mengawal kualiti dan keseragaman lapisan epitaxial yang ditanam dalam aplikasi semikonduktor. Tidak sabar untuk menubuhkan kerjasama jangka panjang dengan anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

VeTek Semiconductor ialah pengilang khusus aksesori salutan CVD SiC untuk peranti epitaxial seperti bahagian separuh bulan Salutan SiC CVD dan Nozel Salutan CVD SiC aksesorinya. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

PE1O8 ialah sistem kartrij automatik sepenuhnya kepada kartrij yang direka untuk mengendalikan wafer SiC sehingga 200mm. Format boleh ditukar antara 150 dan 200 mm, meminimumkan masa henti alat. Pengurangan peringkat pemanasan meningkatkan produktiviti, manakala automasi mengurangkan tenaga kerja dan meningkatkan kualiti dan kebolehulangan. Untuk memastikan proses epitaksi yang cekap dan berdaya saing kos, tiga faktor utama dilaporkan: 1) proses yang cepat, 2) keseragaman ketebalan dan doping yang tinggi, dan 3) meminimumkan pembentukan kecacatan semasa proses epitaksi. Dalam PE1O8, jisim grafit kecil dan sistem muat/punggah automatik membenarkan larian standard disiapkan dalam masa kurang daripada 75 minit (formulasi diod Schottky 10μm standard menggunakan kadar pertumbuhan 30μm/j). Sistem automatik membenarkan pemuatan/pemunggahan pada suhu tinggi. Akibatnya, masa pemanasan dan penyejukan adalah singkat, manakala langkah pembakar telah dihalang. Keadaan ideal ini membolehkan pertumbuhan bahan tidak terdop yang benar.

Dalam proses epitaksi silikon karbida, Nozel Salutan CVD SiC memainkan peranan penting dalam pertumbuhan dan kualiti lapisan epitaxial. Berikut ialah penjelasan lanjutan tentang peranan muncung dalam epitaksi silikon karbida:

Bekalan dan Kawalan Gas: Nozel digunakan untuk menghantar campuran gas yang diperlukan semasa epitaksi, termasuk gas sumber silikon dan gas sumber karbon. Melalui muncung, aliran gas dan nisbah boleh dikawal dengan tepat untuk memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial dan komposisi kimia yang dikehendaki.

Kawalan Suhu: Nozel juga membantu dalam mengawal suhu dalam reaktor epitaksi. Dalam epitaksi silikon karbida, suhu adalah faktor kritikal yang mempengaruhi kadar pertumbuhan dan kualiti kristal. Dengan menyediakan haba atau gas penyejuk melalui muncung, suhu pertumbuhan lapisan epitaxial boleh diselaraskan untuk keadaan pertumbuhan yang optimum.

Pengagihan Aliran Gas: Reka bentuk muncung mempengaruhi pengagihan seragam gas dalam reaktor. Pengagihan aliran gas yang seragam memastikan keseragaman lapisan epitaxial dan ketebalan yang konsisten, mengelakkan isu yang berkaitan dengan ketidakseragaman kualiti bahan.

Pencegahan Pencemaran Kekotoran: Reka bentuk dan penggunaan muncung yang betul boleh membantu mencegah pencemaran kekotoran semasa proses epitaksi. Reka bentuk muncung yang sesuai meminimumkan kemungkinan kekotoran luar memasuki reaktor, memastikan ketulenan dan kualiti lapisan epitaxial.

Sifat fizikal asas salutan CVD SiC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lenturan	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1