Cincin salutan CVD SiC

Cincin salutan CVD SiC adalah salah satu bahagian penting bahagian halfmoon. Bersama-sama dengan bahagian lain, ia membentuk ruang tindak balas pertumbuhan epitaxial SiC. VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal cincin salutan CVD SiC profesional. Mengikut keperluan reka bentuk pelanggan, kami boleh menyediakan cincin salutan CVD SiC yang sepadan pada harga yang paling kompetitif. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Terdapat banyak bahagian kecil di bahagian separuh bulan, dan cincin salutan SiC adalah salah satu daripadanya. Dengan menggunakan lapisanSalutan SiC CVDpada permukaan cincin grafit ketulenan tinggi dengan kaedah CVD, kita boleh mendapatkan cincin salutan CVD SiC. Cincin salutan SiC dengan salutan SiC mempunyai sifat yang sangat baik seperti rintangan suhu tinggi, sifat mekanikal yang sangat baik, kestabilan kimia, kekonduksian terma yang baik, penebat elektrik yang baik dan rintangan pengoksidaan yang sangat baik. Cincin salutan SiC CVD dan salutan SiCpengusahabekerjasama.

SiC coating ring and cooperating susceptor

cincin salutan SiC dan bekerjasamapengusaha

Fungsi cincin salutan CVD SiC:

● Pengagihan aliran: Reka bentuk geometri gelang salutan SiC membantu membentuk medan aliran gas yang seragam, supaya gas tindak balas dapat meliputi permukaan substrat secara sekata, memastikan pertumbuhan epitaxial yang seragam.

● Pertukaran haba dan keseragaman suhu: Cincin salutan CVD SiC memberikan prestasi pertukaran haba yang baik, dengan itu mengekalkan suhu seragam cincin dan substrat salutan CVD SiC. Ini boleh mengelakkan kecacatan kristal yang disebabkan oleh turun naik suhu.

● Penyekatan antara muka: Cincin salutan CVD SiC boleh mengehadkan resapan bahan tindak balas ke tahap tertentu, supaya mereka bertindak balas di kawasan tertentu, dengan itu menggalakkan pertumbuhan kristal SiC berkualiti tinggi.

● Fungsi sokongan: Cincin salutan CVD SiC digabungkan dengan cakera di bawah untuk membentuk struktur yang stabil untuk mengelakkan ubah bentuk dalam suhu tinggi dan persekitaran tindak balas, dan mengekalkan kestabilan keseluruhan ruang tindak balas.

VeTek Semiconductor sentiasa komited untuk menyediakan pelanggan dengan cincin salutan CVD SiC berkualiti tinggi dan membantu pelanggan menyelesaikan penyelesaian pada harga yang paling kompetitif. Tidak kira jenis cincin salutan CVD SiC yang anda perlukan, sila hubungi VeTek Semiconductor!

DATA SEM STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m^-1·K^-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1