Cincin Fokus SiC CVD

VeTek Semiconductor ialah pengeluar domestik terkemuka dan pembekal cincin fokus CVD SiC, khusus untuk menyediakan penyelesaian produk berprestasi tinggi dan kebolehpercayaan tinggi untuk industri semikonduktor. Cincin fokus CVD SiC Semikonduktor VeTek menggunakan teknologi pemendapan wap kimia (CVD) termaju, mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan dan kekonduksian terma, dan digunakan secara meluas dalam proses litografi semikonduktor. Pertanyaan anda sentiasa dialu-alukan.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Sebagai asas kepada peranti elektronik moden dan teknologi maklumat, teknologi semikonduktor telah menjadi bahagian yang amat diperlukan dalam masyarakat hari ini. Daripada telefon pintar kepada komputer, peralatan komunikasi, peralatan perubatan dan sel solar, hampir semua teknologi moden bergantung pada pembuatan dan penggunaan peranti semikonduktor.

Memandangkan keperluan untuk penyepaduan fungsi dan prestasi peranti elektronik terus meningkat, teknologi proses semikonduktor juga sentiasa berkembang dan bertambah baik. Sebagai pautan teras dalam teknologi semikonduktor, proses goresan secara langsung menentukan struktur dan ciri peranti.

Proses etsa digunakan untuk mengeluarkan atau melaraskan bahan pada permukaan semikonduktor dengan tepat untuk membentuk struktur dan corak litar yang dikehendaki. Struktur ini menentukan prestasi dan kefungsian peranti semikonduktor. Proses etsa mampu mencapai ketepatan tahap nanometer, yang merupakan asas untuk pembuatan litar bersepadu (IC) berketumpatan tinggi dan berprestasi tinggi.

Cincin Fokus SiC CVD ialah komponen teras dalam etsa kering, terutamanya digunakan untuk memfokuskan plasma untuk menjadikannya mempunyai ketumpatan dan tenaga yang lebih tinggi pada permukaan wafer. Ia mempunyai fungsi mengagihkan gas secara sama rata. VeTek Semiconductor mengembangkan SiC lapisan demi lapisan melalui proses CVD dan akhirnya memperoleh Cincin Fokus SiC CVD. Cincin Fokus SiC CVD yang disediakan boleh memenuhi keperluan proses goresan dengan sempurna.

CVD SiC Focus Ring working diagram

Cincin Fokus SiC CVD sangat baik dalam sifat mekanikal, sifat kimia, kekonduksian terma, rintangan suhu tinggi, rintangan goresan ion, dsb.

● Ketumpatan tinggi mengurangkan kelantangan goresan

● Jurang jalur tinggi dan penebat yang sangat baik

● Kekonduksian haba yang tinggi, pekali pengembangan rendah dan rintangan kejutan haba

● Keanjalan yang tinggi dan rintangan hentaman mekanikal yang baik

● Kekerasan tinggi, rintangan haus dan rintangan kakisan

Semikonduktor VeTekmempunyai keupayaan pemprosesan Cincin Fokus SiC CVD terkemuka di China. Sementara itu, pasukan teknikal matang dan pasukan jualan VeTek Semiconductor membantu kami menyediakan pelanggan dengan produk cincin fokus yang paling sesuai. Memilih semikonduktor VeTek bermakna bekerjasama dengan syarikat yang komited untuk menolak sempadanCVD silikon karbida inovasi.

Dengan penekanan yang kuat terhadap kualiti, prestasi dan kepuasan pelanggan, kami menyampaikan produk yang bukan sahaja memenuhi tetapi melebihi permintaan ketat industri semikonduktor. Biar kami membantu anda mencapai kecekapan, kebolehpercayaan dan kejayaan yang lebih tinggi dalam operasi anda dengan penyelesaian CVD silikon Karbida kami yang termaju.

DATA SEM FILEM SIC CVD

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC	3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m^-1·K^-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1