Cincin Pra-Haba

VeTek Semiconductor ialah inovator pengeluar salutan SiC di China.Pre-Heat Ring yang disediakan oleh VeTek Semiconductor direka untuk proses Epitaxy. Salutan silikon karbida seragam dan bahan grafit mewah sebagai bahan mentah memastikan pemendapan yang konsisten dan meningkatkan kualiti dan keseragaman lapisan epitaxial. Kami tidak sabar-sabar untuk menubuhkan kerjasama jangka panjang dengan anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

Cincin Pra-Haba ialah peralatan utama yang direka khusus untuk proses epitaxial (EPI) dalam pembuatan semikonduktor. Ia digunakan untuk pra-memanaskan wafer sebelum proses EPI, memastikan kestabilan suhu dan keseragaman sepanjang pertumbuhan epitaxial.

Dihasilkan oleh VeTek Semiconductor, EPI Pre Heat Ring kami menawarkan beberapa ciri dan kelebihan yang ketara. Pertama, ia dibina menggunakan bahan kekonduksian haba yang tinggi, membolehkan pemindahan haba yang cepat dan seragam ke permukaan wafer. Ini menghalang pembentukan titik panas dan kecerunan suhu, memastikan pemendapan yang konsisten dan meningkatkan kualiti dan keseragaman lapisan epitaxial.

Selain itu, Cincin Pra Haba EPI kami dilengkapi dengan sistem kawalan suhu termaju, membolehkan kawalan suhu pra-panas yang tepat dan konsisten. Tahap kawalan ini meningkatkan ketepatan dan kebolehulangan langkah penting seperti pertumbuhan kristal, pemendapan bahan dan tindak balas antara muka semasa proses EPI.

Ketahanan dan kebolehpercayaan adalah aspek penting dalam reka bentuk produk kami. Cincin Pra Haba EPI dibina untuk menahan suhu tinggi dan tekanan operasi, mengekalkan kestabilan dan prestasi dalam tempoh yang lama. Pendekatan reka bentuk ini mengurangkan kos penyelenggaraan dan penggantian, memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dan kecekapan operasi.

Pemasangan dan pengendalian Cincin Pra Haba EPI adalah mudah, kerana ia serasi dengan peralatan EPI biasa. Ia menampilkan mekanisme penempatan dan pengambilan wafer mesra pengguna, meningkatkan kemudahan dan kecekapan operasi.

Di VeTek Semiconductor, kami juga menawarkan perkhidmatan penyesuaian untuk memenuhi keperluan pelanggan tertentu. Ini termasuk menyesuaikan saiz, bentuk dan julat suhu EPI Pre Heat Ring agar sejajar dengan keperluan pengeluaran yang unik.

Bagi penyelidik dan pengilang yang terlibat dalam pertumbuhan epitaxial dan pengeluaran peranti semikonduktor, EPI Pre Heat Ring oleh VeTek Semiconductor menyediakan prestasi yang luar biasa dan sokongan yang boleh dipercayai. Ia berfungsi sebagai alat kritikal dalam mencapai pertumbuhan epitaxial berkualiti tinggi dan memudahkan proses pembuatan peranti semikonduktor yang cekap.

Sifat fizikal asas salutan CVD SiC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	Kekerasan 2500 Vickers（500g beban）
Saiz bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lenturan	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1