Salutan karbida unik Semikonduktor VeTek memberikan perlindungan unggul untuk bahagian grafit dalam Proses Epitaksi SiC untuk pemprosesan bahan semikonduktor dan semikonduktor komposit yang menuntut. Hasilnya ialah jangka hayat komponen grafit, pemeliharaan stoikiometri tindak balas, perencatan penghijrahan bendasing ke aplikasi pertumbuhan epitaksi dan kristal, menghasilkan peningkatan hasil dan kualiti.
Salutan tantalum karbida (TaC) kami melindungi komponen relau dan reaktor kritikal pada suhu tinggi (sehingga 2200°C) daripada ammonia panas, hidrogen, wap silikon dan logam lebur. VeTek Semiconductor mempunyai pelbagai keupayaan pemprosesan dan pengukuran grafit untuk memenuhi keperluan tersuai anda, jadi kami boleh menawarkan lapisan berbayar atau perkhidmatan penuh, dengan pasukan jurutera pakar kami bersedia untuk mereka bentuk penyelesaian yang tepat untuk anda dan aplikasi khusus anda .
Hablur semikonduktor sebatian
VeTek Semiconductor boleh menyediakan salutan TaC khas untuk pelbagai komponen dan pembawa. Melalui proses salutan terkemuka industri VeTek Semiconductor, salutan TaC boleh memperoleh ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan rintangan kimia yang tinggi, dengan itu meningkatkan kualiti produk lapisan kristal TaC/GaN) dan EPl, dan memanjangkan hayat komponen reaktor kritikal.
Penebat haba
Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN dan AlN termasuk pijar, pemegang biji benih, pemesong dan penapis. Pemasangan industri termasuk elemen pemanasan rintangan, muncung, gelang pelindung dan lekapan pateri, komponen reaktor CVD epitaxial GaN dan SiC termasuk pembawa wafer, dulang satelit, kepala pancuran, penutup dan alas, komponen MOCVD.
Pembawa Wafer LED(Diod Pemancar Cahaya).
Penerima ALD(Semikonduktor).
Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)
Susceptor Satelit bersalut TaC TaC Coating Susceptor&Ring Bahagian Salutan TaC Bahagian Halfmoon dengan Salutan TaC
SiC | TaC | |
Ciri-ciri utama | Ketulenan ultra tinggi, rintangan Plasma Cemerlang | Kestabilan suhu tinggi yang sangat baik (pematuhan proses suhu tinggi) |
Kesucian | >99.9999% | >99.9999% |
Ketumpatan (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kekerasan (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Kerintangan [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
Kekonduksian terma (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Pekali pengembangan haba (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Permohonan | Jig Seramik Peralatan Semikonduktor (Gelang Fokus, Kepala Pancuran, Wafer Dummy) | SiC Pertumbuhan kristal tunggal, Epi, bahagian Peralatan LED UV |
VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator terkemuka TaC Coating Heater di China. Produk ini mempunyai takat lebur yang sangat tinggi (kira-kira 3880°C). Takat lebur tinggi Pemanas Salutan TaC membolehkannya beroperasi pada suhu yang sangat tinggi, terutamanya dalam pertumbuhan lapisan epitaxial galium nitrida (GaN) dalam proses pemendapan wap kimia organik logam (MOCVD). VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan pembekal TaC Coated Chuck profesional di China, VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck direka khusus untuk relau semikonduktor. Dengan rintangan suhu tinggi, lengai kimia dan prestasi cemerlang, teknologi inovatif Vetek Semiconductor menyediakan penyelesaian yang boleh dipercayai untuk industri pembuatan semikonduktor bagi memastikan standard pengeluaran berkualiti tinggi. Kami percaya bahawa produk kami boleh membawa anda teknologi canggih dan penyelesaian produk berkualiti tinggi.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan pembekal Tiub Salutan TaC profesional di China, tiub salutan TaC VeTek Semiconductor adalah komponen utama untuk kejayaan pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida. Dengan rintangan suhu tinggi, lengai kimia dan prestasi cemerlang, ia memastikan penghasilan kristal berkualiti tinggi dengan hasil yang konsisten. Percayai penyelesaian inovatif kami untuk meningkatkan proses pertumbuhan kristal SiC kaedah PVT anda dan mencapai keputusan yang cemerlang. Selamat datang untuk menyiasat kami.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar terkemuka, inovator dan peneraju Pelapisan TAC CVD di China. Selama bertahun-tahun, kami telah memberi tumpuan kepada pelbagai produk Salutan TAC CVD seperti penutup salutan CVD TaC, Cincin Salutan CVD TaC, pembawa Salutan TaC CVD, dan lain-lain. VeTek Semiconductor menyokong perkhidmatan produk yang disesuaikan dan harga produk yang memuaskan, dan berharap untuk anda selanjutnya perundingan.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional TaC Coating Plate dan alat ganti TaC Coating lain di China. Salutan TaC pada masa ini digunakan terutamanya dalam proses seperti pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (kaedah PVT), cakera epitaxial (termasuk epitaksi silikon karbida, epitaksi LED), dll. Digabungkan dengan kestabilan jangka panjang yang baik bagi Plat Salutan TaC, TaC Semikonduktor VeTek Plat Coating telah menjadi penanda aras untuk alat ganti TaC Coating. Kami berharap anda menjadi rakan kongsi jangka panjang kami.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional GaN pada susceptor epi SiC, salutan SiC CVD dan susceptor grafit COATING CVD TAC di China. Antaranya, GaN pada susceptor epi SiC memainkan peranan penting dalam pemprosesan semikonduktor. Melalui kekonduksian haba yang sangat baik, keupayaan pemprosesan suhu tinggi dan kestabilan kimia, ia memastikan kecekapan tinggi dan kualiti bahan proses pertumbuhan epitaxial GaN. Kami amat mengharapkan perundingan anda selanjutnya.
Baca LagiHantar Pertanyaan