China Proses Epitaksi SiC Pengeluar, Pembekal, Kilang

Salutan karbida unik Semikonduktor VeTek memberikan perlindungan unggul untuk bahagian grafit dalam Proses Epitaksi SiC untuk pemprosesan bahan semikonduktor dan semikonduktor komposit yang menuntut. Hasilnya ialah jangka hayat komponen grafit, pemeliharaan stoikiometri tindak balas, perencatan penghijrahan bendasing ke aplikasi pertumbuhan epitaksi dan kristal, menghasilkan peningkatan hasil dan kualiti.

Salutan tantalum karbida (TaC) kami melindungi komponen relau dan reaktor kritikal pada suhu tinggi (sehingga 2200°C) daripada ammonia panas, hidrogen, wap silikon dan logam lebur. VeTek Semiconductor mempunyai pelbagai keupayaan pemprosesan dan pengukuran grafit untuk memenuhi keperluan tersuai anda, jadi kami boleh menawarkan lapisan berbayar atau perkhidmatan penuh, dengan pasukan jurutera pakar kami bersedia untuk mereka bentuk penyelesaian yang tepat untuk anda dan aplikasi khusus anda .

Hablur semikonduktor sebatian

VeTek Semiconductor boleh menyediakan salutan TaC khas untuk pelbagai komponen dan pembawa. Melalui proses salutan terkemuka industri VeTek Semiconductor, salutan TaC boleh memperoleh ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan rintangan kimia yang tinggi, dengan itu meningkatkan kualiti produk lapisan kristal TaC/GaN) dan EPl, dan memanjangkan hayat komponen reaktor kritikal.

Penebat haba

Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN dan AlN termasuk pijar, pemegang biji benih, pemesong dan penapis. Pemasangan industri termasuk elemen pemanasan rintangan, muncung, gelang pelindung dan lekapan pateri, komponen reaktor CVD epitaxial GaN dan SiC termasuk pembawa wafer, dulang satelit, kepala pancuran, penutup dan alas, komponen MOCVD.

Tujuan:

Pembawa Wafer LED(Diod Pemancar Cahaya).

Penerima ALD(Semikonduktor).

Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)

Susceptor Satelit bersalut TaC TaC Coating Susceptor&Ring Bahagian Salutan TaC Bahagian Halfmoon dengan Salutan TaC

Perbandingan Salutan SiC dan Salutan TaC:

	SiC	TaC
Ciri-ciri utama	Ketulenan ultra tinggi, rintangan Plasma Cemerlang	Kestabilan suhu tinggi yang sangat baik (pematuhan proses suhu tinggi)
Kesucian	>99.9999%	>99.9999%
Ketumpatan (g/cm 3)	3.21	15
Kekerasan (kg/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Kerintangan [Ωcm]	0.1-15,000	<1
Kekonduksian terma (W/m-K)	200-360	22
Pekali pengembangan haba (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Permohonan	Jig Seramik Peralatan Semikonduktor (Gelang Fokus, Kepala Pancuran, Wafer Dummy)	SiC Pertumbuhan kristal tunggal, Epi, bahagian Peralatan LED UV

View as

Pembawa Salutan TaC CVD

Pembawa Salutan TaC CVD Semikonduktor VeTek direka terutamanya untuk proses epitaxial pembuatan semikonduktor. Takat lebur Ultra-tinggi pembawa Salutan CVD TaC, rintangan kakisan yang sangat baik, dan kestabilan terma yang luar biasa menentukan keperluan produk ini dalam proses epitaxial semikonduktor. kami amat berharap untuk membina hubungan perniagaan jangka panjang dengan anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Cincin Panduan Salutan TaC

Cincin Panduan Salutan TaC Semikonduktor VeTek dicipta dengan menggunakan salutan tantalum karbida pada bahagian grafit menggunakan teknik canggih yang dipanggil pemendapan wap kimia (CVD). Kaedah ini sudah mantap dan menawarkan sifat salutan yang luar biasa. Dengan menggunakan Cincin Panduan Salutan TaC, jangka hayat komponen grafit boleh dilanjutkan dengan ketara, pergerakan bendasing grafit boleh ditindas, dan kualiti kristal tunggal SiC dan AIN boleh dikekalkan dengan pasti. Selamat datang untuk menyiasat kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor Grafit Bersalut TaC

Susceptor Grafit Bersalut TaC Semiconductor menggunakan kaedah pemendapan wap kimia (CVD) untuk menyediakan salutan tantalum karbida pada permukaan bahagian grafit. Proses ini adalah yang paling matang dan mempunyai sifat salutan terbaik. Susceptor Grafit Bersalut TaC boleh memanjangkan hayat perkhidmatan komponen grafit, menghalang penghijrahan kekotoran grafit, dan memastikan kualiti epitaksi. VeTek Semiconductor menantikan pertanyaan anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor Salutan TaC

VeTek Semiconductor mempersembahkan Susceptor Coating TaC, Dengan salutan TaC yang luar biasa, susceptor ini menawarkan pelbagai kelebihan yang membezakannya daripada penyelesaian konvensional. Mengintegrasikan dengan lancar ke dalam sistem sedia ada, Susceptor Coating TaC dari VeTek Semiconductor menjamin keserasian dan operasi yang cekap. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan TaC berkualiti tinggi secara konsisten memberikan hasil yang luar biasa dalam proses epitaksi SiC. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Plat Putaran Salutan TaC

Plat Putaran Salutan TaC Semikonduktor VeTek mempunyai salutan TaC yang luar biasa, Dengan salutan TaC yang luar biasa, Plat Putaran Salutan TaC mempunyai rintangan suhu tinggi yang luar biasa dan lengai kimia, yang membezakannya daripada penyelesaian tradisional. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada daya saing. harga dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Plat Salutan TaC

Plat Salutan TaC Semiconductor VeTek ialah produk luar biasa yang menawarkan ciri dan kelebihan luar biasa. Direka dengan ketepatan dan direka bentuk untuk kesempurnaan, Plat Salutan TaC kami disesuaikan secara khusus untuk pelbagai aplikasi dalam proses pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (SiC). Dimensi tepat Plat Salutan TaC dan pembinaan teguh memudahkan untuk disepadukan ke dalam sistem sedia ada, memastikan keserasian yang lancar dan operasi yang cekap. Prestasi yang boleh dipercayai dan salutan berkualiti tinggi menyumbang kepada keputusan yang konsisten dan seragam dalam aplikasi pertumbuhan kristal SiC. Kami komited untuk menyediakan produk berkualiti pada harga yang kompetitif dan berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

<...2 3 4 5 6...7 >

Sebagai pengilang dan pembekal profesional Proses Epitaksi SiC di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Proses Epitaksi SiC buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.