Salutan karbida unik Semikonduktor VeTek memberikan perlindungan unggul untuk bahagian grafit dalam Proses Epitaksi SiC untuk pemprosesan bahan semikonduktor dan semikonduktor komposit yang menuntut. Hasilnya ialah jangka hayat komponen grafit, pemeliharaan stoikiometri tindak balas, perencatan penghijrahan bendasing ke aplikasi pertumbuhan epitaksi dan kristal, menghasilkan peningkatan hasil dan kualiti.
Salutan tantalum karbida (TaC) kami melindungi komponen relau dan reaktor kritikal pada suhu tinggi (sehingga 2200°C) daripada ammonia panas, hidrogen, wap silikon dan logam lebur. VeTek Semiconductor mempunyai pelbagai keupayaan pemprosesan dan pengukuran grafit untuk memenuhi keperluan tersuai anda, jadi kami boleh menawarkan lapisan berbayar atau perkhidmatan penuh, dengan pasukan jurutera pakar kami bersedia untuk mereka bentuk penyelesaian yang tepat untuk anda dan aplikasi khusus anda .
Hablur semikonduktor sebatian
VeTek Semiconductor boleh menyediakan salutan TaC khas untuk pelbagai komponen dan pembawa. Melalui proses salutan terkemuka industri VeTek Semiconductor, salutan TaC boleh memperoleh ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan rintangan kimia yang tinggi, dengan itu meningkatkan kualiti produk lapisan kristal TaC/GaN) dan EPl, dan memanjangkan hayat komponen reaktor kritikal.
Penebat haba
Komponen pertumbuhan kristal SiC, GaN dan AlN termasuk pijar, pemegang biji benih, pemesong dan penapis. Pemasangan industri termasuk elemen pemanasan rintangan, muncung, gelang pelindung dan lekapan pateri, komponen reaktor CVD epitaxial GaN dan SiC termasuk pembawa wafer, dulang satelit, kepala pancuran, penutup dan alas, komponen MOCVD.
Pembawa Wafer LED(Diod Pemancar Cahaya).
Penerima ALD(Semikonduktor).
Reseptor EPI (Proses Epitaksi SiC)
Susceptor Satelit bersalut TaC TaC Coating Susceptor&Ring Bahagian Salutan TaC Bahagian Halfmoon dengan Salutan TaC
SiC | TaC | |
Ciri-ciri utama | Ketulenan ultra tinggi, rintangan Plasma Cemerlang | Kestabilan suhu tinggi yang sangat baik (pematuhan proses suhu tinggi) |
Kesucian | >99.9999% | >99.9999% |
Ketumpatan (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kekerasan (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Kerintangan [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
Kekonduksian terma (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Pekali pengembangan haba (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Permohonan | Jig Seramik Peralatan Semikonduktor (Gelang Fokus, Kepala Pancuran, Wafer Dummy) | SiC Pertumbuhan kristal tunggal, Epi, bahagian Peralatan LED UV |
Sebagai pengilang termaju dan pengeluar produk Tantalum Carbide Ring di China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring mempunyai kekerasan yang sangat tinggi, rintangan haus, rintangan suhu tinggi dan kestabilan kimia, dan digunakan secara meluas dalam bidang pembuatan semikonduktor. Terutamanya dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, dan pemprosesan dan pengangkutan wafer, ia merupakan produk yang sangat diperlukan untuk pemprosesan dan pembuatan semikonduktor. Mengharapkan perundingan anda selanjutnya.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan kilang produk Sokongan Salutan Tantalum Carbide profesional di China, Sokongan Salutan Tantalum Carbide VeTek Semiconductor biasanya digunakan untuk salutan permukaan komponen struktur atau komponen sokongan dalam peralatan semikonduktor, terutamanya untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses pembuatan semikonduktor seperti CVD dan PVD. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan peneraju produk Tantalum Carbide Guide Ring di China. Cincin Panduan Tantalum Carbide (TaC) kami ialah komponen cincin berprestasi tinggi yang diperbuat daripada tantalum karbida, yang biasanya digunakan dalam peralatan pemprosesan semikonduktor, terutamanya dalam persekitaran suhu tinggi dan sangat menghakis seperti CVD, PVD, etsa dan resapan. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan teknologi canggih dan penyelesaian produk untuk industri semikonduktor, dan mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang profesional, inovator dan peneraju produk TaC Coating Rotation Susceptor di China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor biasanya dipasang dalam pemendapan wap kimia (CVD) dan peralatan epitaksi rasuk molekul (MBE) untuk menyokong dan memutar wafer untuk memastikan pemendapan bahan seragam dan tindak balas yang cekap. Ia adalah komponen utama dalam pemprosesan semikonduktor. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan peneraju produk CVD TaC Coating Crucible di China. CVD TaC Coating Crucible adalah berasaskan salutan tantalum carbon (TaC). Salutan karbon tantalum dilitupi sama rata pada permukaan pijar melalui proses pemendapan wap kimia (CVD) untuk meningkatkan rintangan haba dan rintangan kakisan. Ia adalah alat bahan yang digunakan khas dalam persekitaran ekstrem suhu tinggi. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengeluar dan kilang produk Pembawa Wafer Salutan CVD TaC profesional di China, Pembawa Wafer Salutan CVD TaC Semikonduktor VeTek ialah alat pembawa wafer yang direka khas untuk persekitaran suhu tinggi dan menghakis dalam pembuatan semikonduktor. dan Pembawa Wafer Coating TaC CVD mempunyai kekuatan mekanikal yang tinggi, rintangan kakisan yang sangat baik dan kestabilan terma, memberikan jaminan yang diperlukan untuk mengeluarkan peranti semikonduktor berkualiti tinggi. Pertanyaan lanjut anda dialu-alukan.
Baca LagiHantar Pertanyaan