Rumah > Produk > Salutan Silikon Karbida

China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan 3.21 g/cm³
Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Kepala Pancuran SiC Gas Pepejal

Kepala Pancuran SiC Gas Pepejal

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Kepala Pancuran Gas Pepejal SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan semikonduktor selama bertahun-tahun. Reka bentuk berbilang keliangan Kepala Pancuran Gas SiC Semikonduktor Pepejal memastikan haba yang dijana dalam proses CVD dapat disebarkan , memastikan substrat dipanaskan secara sama rata. Kami berharap dapat menyediakan jangka panjang dengan anda di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Proses Pemendapan Wap Kimia Cincin Tepi SiC Pepejal

Proses Pemendapan Wap Kimia Cincin Tepi SiC Pepejal

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Cincin Tepi Pepejal Proses Pemendapan Wap Kimia di China. Kami telah mengkhusus dalam bahan semikonduktor selama bertahun-tahun. Cincin tepi SiC pepejal Semikonduktor VeTek menawarkan keseragaman etsa yang lebih baik dan kedudukan wafer yang tepat apabila digunakan dengan chuck elektrostatik , memastikan hasil goresan yang konsisten dan boleh dipercayai. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Cincin Fokus Goresan SiC Pepejal

Cincin Fokus Goresan SiC Pepejal

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan inovator Cincin Fokus Etching Solid SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Solid SiC dipilih sebagai bahan cincin fokus kerana kestabilan termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanikal yang tinggi dan ketahanan terhadap plasma hakisan.Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept