VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Kepala Pancuran Gas Pepejal SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan semikonduktor selama bertahun-tahun. Reka bentuk berbilang keliangan Kepala Pancuran Gas SiC Semikonduktor Pepejal memastikan haba yang dijana dalam proses CVD dapat disebarkan , memastikan substrat dipanaskan secara sama rata. Kami berharap dapat menyediakan jangka panjang dengan anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Cincin Tepi Pepejal Proses Pemendapan Wap Kimia di China. Kami telah mengkhusus dalam bahan semikonduktor selama bertahun-tahun. Cincin tepi SiC pepejal Semikonduktor VeTek menawarkan keseragaman etsa yang lebih baik dan kedudukan wafer yang tepat apabila digunakan dengan chuck elektrostatik , memastikan hasil goresan yang konsisten dan boleh dipercayai. Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang dan inovator Cincin Fokus Etching Solid SiC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Solid SiC dipilih sebagai bahan cincin fokus kerana kestabilan termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanikal yang tinggi dan ketahanan terhadap plasma hakisan.Kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan