> Produk > Salutan Silikon Karbida

produk baru

China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.

Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan salutan SiC	3.21 g/cm³
Salutan SiC Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m^-1·K^-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K^-1

STRUKTUR KRISTAL FILEM SIC CVD

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi bersalut Silicon Carbide Pembawa Wafer Salutan SiC Penutup Satelit bersalut SiC untuk MOCVD Susceptor Epi Wafer Salutan CVD SiC Elemen Pemanas salutan CVD SiC Pembawa wafer Satelit Aixtron Penerima Epi Salutan SiC Bahagian grafit separuh bulan salutan SiC

View as

Reseptor Epi Bersalut SiC

Sebagai pengeluar domestik terkemuka bagi salutan silikon karbida dan tantalum karbida, VeTek Semiconductor mampu menyediakan pemesinan ketepatan dan salutan seragam SiC Coated Epi Susceptor, dengan berkesan mengawal ketulenan salutan dan produk di bawah 5ppm. Hayat produk adalah setanding dengan SGL. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Set Reseptor LPE SI EPI

Susceptor rata dan susceptor tong adalah bentuk utama susceptor epi.VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator Set Susceptor LPE Si Epi terkemuka di China.Kami telah mengkhususkan diri dalam salutan SiC dan salutan TaC selama bertahun-tahun.Kami menawarkan Susceptor LPE Si Epi Set direka khusus untuk wafer LPE PE2061S 4". Tahap padanan bahan grafit dan SiC salutan adalah baik, keseragaman sangat baik, dan hayatnya panjang, yang boleh meningkatkan hasil pertumbuhan lapisan epitaxial semasa proses LPE (Epitaksi Fasa Cecair). Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Aixtron G5 MOCVD Susceptors

Sistem Aixtron G5 MOCVD terdiri daripada bahan grafit, grafit bersalut silikon karbida, kuarza, bahan terasa tegar, dan lain-lain. Vetek Semiconductor boleh menyesuaikan dan mengeluarkan keseluruhan set komponen untuk sistem ini. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahagian grafit dan kuarza semikonduktor selama bertahun-tahun. Kit Susceptors Aixtron G5 MOCVD ini adalah penyelesaian yang serba boleh dan cekap untuk pembuatan semikonduktor dengan saiz optimum, keserasian dan produktiviti yang tinggi. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor Tong Grafit Bersalut SiC untuk EPI

Pangkalan pemanasan wafer epitaxial jenis tong adalah produk dengan teknologi pemprosesan yang rumit, yang sangat mencabar kepada peralatan dan keupayaan pemesinan. Semikonduktor Vetek mempunyai peralatan canggih dan pengalaman yang kaya dalam memproses susceptor tong grafit bersalut SiC untuk EPI, boleh memberikan yang sama seperti hayat kilang asal, tong epitaxial yang lebih kos efektif.Jika anda berminat dengan data kami, sila jangan teragak-agak untuk menghubungi kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Deflektor Wadah Grafit Bersalut SiC

Deflektor pijar grafit bersalut SiC adalah komponen utama dalam peralatan relau kristal tunggal, tugasnya adalah untuk membimbing bahan lebur dari pijar ke zon pertumbuhan kristal dengan lancar, dan memastikan kualiti dan bentuk pertumbuhan kristal tunggal. Semikonduktor Vetek boleh menyediakan kedua-dua grafit dan bahan salutan SiC. Selamat datang untuk menghubungi kami untuk maklumat lanjut.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Susceptor Epitaxial MOCVD untuk Wafer 4"

MOCVD Epitaxial Susceptor untuk 4" Wafer direka untuk mengembangkan 4" lapisan epitaxial. VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional, yang berdedikasi untuk menyediakan MOCVD Epitaxial Susceptor yang berkualiti tinggi untuk 4" Wafer. Dengan bahan grafit yang disesuaikan dan proses salutan SiC. Kami dapat menyampaikan penyelesaian yang pakar dan cekap kepada pelanggan kami. Anda dialu-alukan untuk berkomunikasi dengan kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

<...13 14 15 16 17...18 >

Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.