VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting untuk pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | Polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan salutan SiC | 3.21 g/cm³ |
Salutan SiC Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor ialah pengeluar terkemuka dan pembekal Sokongan Bersalut SiC untuk LPE PE2061S di China. Sokongan Bersalut SiC untuk LPE PE2061S sesuai untuk reaktor epitaxial silikon LPE. Sebagai bahagian bawah pangkalan tong, Sokongan Bersalut SiC untuk LPE PE2061S boleh menahan suhu tinggi 1600 darjah Celsius, dengan itu mencapai hayat produk yang sangat panjang dan mengurangkan kos pelanggan. Mengharapkan pertanyaan anda dan komunikasi selanjutnya.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor telah terlibat secara mendalam dalam produk salutan SiC selama bertahun-tahun dan telah menjadi pengeluar terkemuka dan pembekal Plat Atas Bersalut SiC untuk LPE PE2061S di China. Plat Atas Bersalut SiC untuk LPE PE2061S yang kami sediakan direka untuk reaktor epitaxial silikon LPE dan terletak di bahagian atas bersama-sama dengan tapak tong. Plat Atas Bersalut SiC untuk LPE PE2061S ini mempunyai ciri-ciri cemerlang seperti ketulenan tinggi, kestabilan terma yang sangat baik dan keseragaman, yang membantu mengembangkan lapisan epitaxial berkualiti tinggi. Tidak kira apa produk yang anda perlukan, kami menantikan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai salah satu kilang pembuatan susceptor wafer terkemuka di China, VeTek Semiconductor telah membuat kemajuan berterusan dalam produk susceptor wafer dan telah menjadi pilihan pertama bagi banyak pengeluar wafer epitaxial. Susceptor Tong Bersalut SiC untuk LPE PE2061S yang disediakan oleh VeTek Semiconductor direka untuk wafer LPE PE2061S 4''. Susceptor mempunyai salutan silikon karbida tahan lama yang meningkatkan prestasi dan ketahanan semasa proses LPE (epitaksi fasa cecair). Mengalu-alukan pertanyaan anda, kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda.
Baca LagiHantar PertanyaanKepala Pancuran Gas SiC Pepejal memainkan peranan utama dalam membuat seragam gas dalam proses CVD, dengan itu memastikan pemanasan seragam substrat. VeTek Semiconductor telah terlibat secara mendalam dalam bidang peranti SiC pepejal selama bertahun-tahun dan mampu menyediakan pelanggan dengan Kepala Pancuran Gas SiC Pepejal yang disesuaikan. Tidak kira apa keperluan anda, kami menantikan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor sentiasa komited kepada penyelidikan dan pembangunan serta pembuatan bahan semikonduktor termaju. Hari ini, VeTek Semiconductor telah mencapai kemajuan yang besar dalam produk cincin tepi SiC pepejal dan mampu menyediakan pelanggan dengan cincin tepi SiC pepejal yang sangat disesuaikan. Cincin tepi SiC pepejal memberikan keseragaman goresan yang lebih baik dan kedudukan wafer yang tepat apabila digunakan dengan chuck elektrostatik, memastikan hasil goresan yang konsisten dan boleh dipercayai. Mengharapkan pertanyaan anda dan menjadi rakan kongsi jangka panjang antara satu sama lain.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin Fokus Goresan SiC Pepejal ialah salah satu komponen teras proses goresan wafer, yang memainkan peranan dalam membetulkan wafer, memfokuskan plasma dan meningkatkan keseragaman goresan wafer. Sebagai pengeluar Cincin Fokus SiC terkemuka di China, VeTek Semiconductor mempunyai teknologi canggih dan proses matang, dan mengeluarkan Cincin Fokus Etching SiC Pepejal yang memenuhi sepenuhnya keperluan pelanggan akhir mengikut keperluan pelanggan. Kami menantikan pertanyaan anda dan menjadi rakan kongsi jangka panjang antara satu sama lain.
Baca LagiHantar Pertanyaan