Salutan CVD SiC Epitaxy susceptor

VeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ialah alat kejuruteraan ketepatan yang direka untuk pengendalian dan pemprosesan wafer semikonduktor. Susceptor Epitaxy Coating SiC ini memainkan peranan penting dalam menggalakkan pertumbuhan filem nipis, epilayers, dan salutan lain, dan boleh mengawal suhu dan sifat bahan dengan tepat. Mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.

Hantar Pertanyaan

Penerangan Produk

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ialah sejenisSusceptor Epi LED MOCVD, yang memainkan peranan utama dalam reaktor CVD. Sebagai Susceptor Epi, ia bukan sahaja sumber haba, tetapi juga menyediakan platform sokongan yang stabil untuk substrat semasa proses pemendapan.Salutan SiCberkesan boleh mengurangkan pengoksidaan dan pencemaran Susceptor Grafit dalam persekitaran suhu tinggi, dengan itu memastikan ketulenan tinggi bahan termendap.

asassifat fizikal salutan CVD SiC:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m^-1·K^-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Kelebihan Produk Susceptor Epitaxy Coating SiC CVD:

● Pemendapan Tepat: Dengan CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor, anda boleh mencapai pemendapan terkawal dengan tepat bagi filem dan salutan nipis untuk mendapatkan hasil yang berkualiti tinggi dan boleh berulang.

● Pencemaran yang dikurangkan: Salutan SiC meminimumkan risiko pencemaran daripadaEpi Suceptorberasaskan Grafit, memastikan ketulenan bahan yang didepositkan.

● Ketahanan: Salutan SiC meningkatkan rintangan pengoksidaan dan rintangan kakisan kimia Graphite Epitaxy Susceptor, memberikan hayat perkhidmatan yang lebih lama dan kebolehpercayaan yang lebih tinggi.

Semikonduktor VeTekkomited untuk menyediakan produk berkualiti tinggi dan harga yang kompetitif. sama ada ianyaJika Penerima EPIatau Susceptor EPI Grafit ketulenan tinggi, kami boleh memenuhi keperluan anda. Kami tidak sabar untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Semikonduktor VeTekKedai-kedai Produk Susceptor Epitaxy Coating CVD SiC: