VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional, khusus untuk menyediakan Susceptor Epitaxial GaN berasaskan Silikon berkualiti tinggi. Semikonduktor susceptor digunakan dalam sistem VEECO K465i GaN MOCVD, ketulenan tinggi, rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, dialu-alukan untuk bertanya dan bekerjasama dengan kami!
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah Bahagian Halfmoon 8 Inch terkemuka untuk pengilang dan inovator Reaktor LPE di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Bahagian Halfmoon 8 Inch untuk Reaktor LPE yang direka khusus untuk reaktor epitaksi LPE SiC. Halfmoon ini merupakan penyelesaian yang serba boleh dan cekap untuk pembuatan semikonduktor dengan saiz optimum, keserasian dan produktiviti yang tinggi. Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah Susceptor Pancake Bersalut SiC terkemuka untuk pengilang dan inovator wafer LPE PE3061S 6'' di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan susceptor pancake bersalut SiC yang direka khusus untuk wafer LPE PE3061S 6" . Susceptor epitaxial ini mempunyai rintangan kakisan yang tinggi, prestasi pengaliran haba yang baik, keseragaman yang baik.Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah Sokongan Bersalut SiC terkemuka untuk pengilang dan inovator LPE PE2061S di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Sokongan Bersalut SiC untuk LPE PE2061S yang direka khusus untuk reaktor epitaksi silikon LPE. Sokongan Bersalut SiC untuk LPE PE2061S ini adalah bahagian bawah susceptor tong. Ia boleh menahan suhu tinggi 1600 darjah Celsius, memanjangkan hayat produk alat ganti grafit. Selamat datang untuk menghantar pertanyaan kepada kami.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah Plat Atas Bersalut SiC terkemuka untuk pengilang dan inovator LPE PE2061S di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Plat Atas Bersalut SiC untuk LPE PE2061S yang direka khusus untuk reaktor epitaksi silikon LPE. Plat Atas Bersalut SiC ini untuk LPE PE2061S adalah bahagian atas bersama dengan susceptor tong. Plat bersalut CVD SiC ini mempunyai ketulenan yang tinggi, kestabilan haba yang sangat baik dan keseragaman, menjadikannya sesuai untuk mengembangkan lapisan epitaxial berkualiti tinggi. Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah Susceptor Barrel Bersalut SiC terkemuka untuk pengilang dan inovator LPE PE2061S di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan susceptor tong bersalut SiC yang direka khusus untuk wafer LPE PE2061S 4''. Susceptor ini mempunyai salutan silikon karbida tahan lama yang meningkatkan prestasi dan ketahanan semasa proses LPE (Liquid Phase Epitaxy). Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.
Baca LagiHantar Pertanyaan