Rumah > Produk > Salutan Silikon Karbida

China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan 3.21 g/cm³
Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Bahagian Halfmoon Atas Bersalut SiC

Bahagian Halfmoon Atas Bersalut SiC

VeTek Semiconductor ialah pembekal terkemuka bagi bahagian SiC Bahagian Halfmoon Atas yang disesuaikan di China, yang mengkhusus dalam bahan termaju selama lebih 20 tahun. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC bersalut direka khusus untuk peralatan epitaxial SiC, berfungsi sebagai komponen penting dalam ruang tindak balas. Diperbuat daripada grafit gred semikonduktor ultra tulen, ia memastikan prestasi cemerlang. Kami menjemput anda untuk melawat kilang kami di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Pembawa Wafer Epitaksi Silikon Karbida

Pembawa Wafer Epitaksi Silikon Karbida

VeTek Semiconductor ialah pembekal Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier tersuai terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan termaju lebih daripada 20 tahun. Kami menawarkan Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier untuk membawa substrat SiC, mengembangkan lapisan epitaksi SiC dalam reaktor epitaxial SiC. Pembawa Wafer Epitaxy Silicon Carbide ini adalah bahagian bersalut SiC yang penting pada bahagian halfmoon, rintangan suhu tinggi, rintangan pengoksidaan, rintangan haus. Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Susceptor MOCVD Bersalut SiC

Susceptor MOCVD Bersalut SiC

Susceptor MOCVD Bersalut SiC Semiconductor VeTek ialah peranti dengan proses yang sangat baik, ketahanan dan kebolehpercayaan. Mereka boleh menahan suhu tinggi dan persekitaran kimia, mengekalkan prestasi yang stabil dan jangka hayat yang panjang, dengan itu mengurangkan kekerapan penggantian dan penyelenggaraan serta meningkatkan kecekapan pengeluaran. MOCVD Epitaxial Susceptor kami terkenal dengan ketumpatan tinggi, kerataan yang sangat baik dan kawalan haba yang sangat baik, menjadikannya peralatan pilihan dalam persekitaran pembuatan yang keras. Tidak sabar-sabar untuk bekerjasama dengan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Pembawa Etching ICP Bersalut SiC

Pembawa Etching ICP Bersalut SiC

Pembawa Etsa ICP Bersalut SiC Semiconductor VeTek direka untuk aplikasi peralatan epitaksi yang paling mencabar. Diperbuat daripada bahan grafit ultra-tulen berkualiti tinggi, Pembawa Etching ICP Bersalut SiC kami mempunyai permukaan yang sangat rata dan rintangan kakisan yang sangat baik untuk menahan keadaan yang teruk semasa pengendalian. Kekonduksian haba yang tinggi bagi pembawa bersalut SiC memastikan pengagihan haba yang sekata untuk hasil goresan yang sangat baik. VeTek Semiconductor berharap untuk membina perkongsian jangka panjang dengan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Plat Pembawa Etsa PSS untuk Semikonduktor

Plat Pembawa Etsa PSS untuk Semikonduktor

Plat Pembawa Etsa PSS Semikonduktor VeTek untuk Semikonduktor ialah pembawa grafit ultra tulen berkualiti tinggi yang direka untuk proses pengendalian wafer. Pembawa kami mempunyai prestasi cemerlang dan boleh berprestasi baik dalam persekitaran yang keras, suhu tinggi dan keadaan pembersihan kimia yang keras. Produk kami digunakan secara meluas di banyak pasaran Eropah dan Amerika, dan kami berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Susceptor Penyepuhlindapan Terma Pantas

Susceptor Penyepuhlindapan Terma Pantas

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan inovator Susceptor Penyepuhan Terma Rapid terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. kilang di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept