Rumah > Produk > Salutan Silikon Karbida

China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan 3.21 g/cm³
Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Pin Angkat Wafer

Pin Angkat Wafer

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator EPI Wafer Lift Pin terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam salutan SiC pada permukaan grafit selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Pin Lif Wafer EPI untuk proses Epi. Dengan kualiti yang tinggi dan harga yang kompetitif, kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Susceptor Tong Bersalut SiC

Susceptor Tong Bersalut SiC

VeTek Semiconductor menawarkan set penyelesaian komponen yang komprehensif untuk ruang tindak balas epitaksi silikon LPE, memberikan jangka hayat yang panjang, kualiti yang stabil dan hasil lapisan epitaksi yang lebih baik. Produk kami seperti SiC Coated Barrel Susceptor menerima maklum balas kedudukan daripada pelanggan. Kami juga menyediakan sokongan teknikal untuk Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy dan banyak lagi. Jangan ragu untuk bertanya untuk maklumat harga.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Jika Penerima EPI

Jika Penerima EPI

VeTek Semiconductor ialah sebuah kilang yang menggabungkan pemesinan ketepatan dan keupayaan salutan semikonduktor SiC dan TaC. Jenis tong Si Epi Susceptor menyediakan keupayaan kawalan suhu dan atmosfera, meningkatkan kecekapan pengeluaran dalam proses pertumbuhan epitaxial semikonduktor. Tidak sabar untuk mewujudkan hubungan kerjasama dengan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Reseptor Epi Bersalut SiC

Reseptor Epi Bersalut SiC

Sebagai pengeluar domestik terkemuka bagi salutan silikon karbida dan tantalum karbida, VeTek Semiconductor mampu menyediakan pemesinan ketepatan dan salutan seragam SiC Coated Epi Susceptor, dengan berkesan mengawal ketulenan salutan dan produk di bawah 5ppm. Hayat produk adalah setanding dengan SGL. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Set Reseptor LPE SI EPI

Set Reseptor LPE SI EPI

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan inovator Set Susceptor LPE Si Epi terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam salutan SiC dan salutan TaC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Set Susceptor LPE Si Epi yang direka khusus untuk wafer LPE PE2061S 4''. Tahap padanan bahan grafit dan salutan SiC adalah baik, keseragaman adalah sangat baik, dan hayatnya panjang, yang boleh meningkatkan hasil pertumbuhan lapisan epitaxial semasa proses LPE (Epitaksi Fasa Cecair). Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami di China.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Aixtron G5 MOCVD Susceptors

Aixtron G5 MOCVD Susceptors

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan inovator Susceptors Aixtron G5 MOCVD terkemuka di China. Kami telah mengkhusus dalam bahan salutan SiC selama bertahun-tahun. Kami menawarkan Susceptors Aixtron G5 MOCVD yang direka khusus untuk reaktor Aixtron G5 MOCVD. Kit Susceptors Aixtron G5 MOCVD ini adalah penyelesaian yang serba boleh dan cekap untuk pembuatan semikonduktor dengan saiz optimum, keserasian dan produktiviti yang tinggi. Selamat datang untuk bertanya kepada kami.

Baca LagiHantar Pertanyaan
<...678910...12>
Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept