VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Sebagai pengeluar dan pembekal pembawa wafer salutan SiC profesional di China, pembawa wafer salutan SiC Vetek Semiconductor digunakan terutamanya untuk meningkatkan keseragaman pertumbuhan lapisan epitaxial, memastikan kestabilan dan integritinya dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis. Mengharapkan pertanyaan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional ALD Susceptor, salutan CVD SiC, asas grafit COATING CVD TAC di China. Vetek Semiconductor bersama-sama membangunkan dan menghasilkan pangkalan planet ALD bersalut SiC dengan pengeluar sistem ALD untuk memenuhi keperluan tinggi proses ALD dan mengagihkan aliran udara secara sama rata pada substrat. Kami mengharapkan kerjasama selanjutnya dengan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengeluar dan pembekal siling bersalut CVD SiC profesional di China, siling bersalut CVD SiC VeTek Semiconductor mempunyai ciri-ciri cemerlang seperti rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, kekerasan tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah, menjadikannya pilihan bahan yang ideal dalam pembuatan semikonduktor. Kami mengharapkan kerjasama selanjutnya dengan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengilang profesional MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor di China. Susceptor Epi LED MOCVD Semiconductor VeTek direka untuk aplikasi peralatan epitaxial yang menuntut. Kekonduksian haba yang tinggi, kestabilan kimia dan ketahanan adalah faktor utama untuk memastikan proses pertumbuhan epitaxial yang stabil dan pengeluaran filem semikonduktor berkualiti tinggi. Kami mengharapkan kerjasama selanjutnya dengan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengilang dan pembekal susceptor ALD salutan SiC profesional di China, susceptor ALD salutan SiC Semikonduktor VeTek ialah komponen sokongan yang digunakan khusus dalam proses pemendapan lapisan atom (ALD). Ia memainkan peranan penting dalam peralatan ALD, memastikan keseragaman dan ketepatan proses pemendapan. Kami percaya bahawa produk ALD Planetary Susceptor kami boleh membawakan anda penyelesaian produk berkualiti tinggi.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar terkemuka, inovator dan peneraju produk SiC Coating Epi Susceptor di China. Selama bertahun-tahun, kami telah memberi tumpuan kepada pelbagai produk Salutan SiC seperti Susceptor Epi Salutan SiC, Pembawa Wafer Salutan SiC, Susceptor Salutan SiC, susceptor ALD salutan SiC, dll. Semikonduktor VeTek komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk termaju untuk semikonduktor industri. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan