China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.

Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Chuck Wafer Silicon Carbide

Sebagai pengeluar dan pembekal utama produk Silicon Carbide Wafer Chuck di China, Silicon Carbide Wafer Chuck VeTek Semiconductor memainkan peranan yang tidak boleh digantikan dalam proses pertumbuhan epitaxial dengan rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan kimia dan rintangan kejutan haba. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Kepala Pancuran Silikon Karbida

VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal utama produk Silicon Carbide Shower Head di China. Kepala Pancuran SiC mempunyai toleransi suhu tinggi yang sangat baik, kestabilan kimia, kekonduksian terma dan prestasi pengedaran gas yang baik, yang boleh mencapai pengedaran gas seragam dan meningkatkan kualiti filem. Oleh itu, ia biasanya digunakan dalam proses suhu tinggi seperti pemendapan wap kimia (CVD) atau proses pemendapan wap fizikal (PVD). Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Cincin Pengedap Silikon Karbida

Sebagai pengeluar dan kilang produk Silicon Carbide Seal Ring profesional di China, VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring digunakan secara meluas dalam peralatan pemprosesan semikonduktor kerana rintangan haba yang sangat baik, rintangan kakisan, kekuatan mekanikal dan kekonduksian terma. Ia amat sesuai untuk proses yang melibatkan suhu tinggi dan gas reaktif seperti CVD, PVD dan etsa plasma, dan merupakan pilihan bahan utama dalam proses pembuatan semikonduktor. Pertanyaan lanjut anda dialu-alukan.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Pemegang Wafer bersalut SiC

VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional dan peneraju produk pemegang wafer bersalut SiC di China. Pemegang wafer bersalut SiC ialah pemegang wafer untuk proses epitaksi dalam pemprosesan semikonduktor. Ia adalah peranti yang tidak boleh ditukar ganti yang menstabilkan wafer dan memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Pemegang wafer epi

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan kilang Pemegang Wafer Epi profesional di China. Epi Wafer Holder ialah pemegang wafer untuk proses epitaksi dalam pemprosesan semikonduktor. Ia adalah alat utama untuk menstabilkan wafer dan memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial. Ia digunakan secara meluas dalam peralatan epitaksi seperti MOCVD dan LPCVD. Ia adalah peranti yang tidak boleh ditukar ganti dalam proses epitaksi. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Pembawa wafer Satelit Aixtron

Sebagai pengilang dan inovator produk Pembawa Wafer Satelit Aixtron profesional di China, Pembawa Wafer Satelit Aixtron Semikonduktor VeTek ialah pembawa wafer yang digunakan dalam peralatan AIXTRON, terutamanya digunakan dalam proses MOCVD dalam pemprosesan semikonduktor, dan amat sesuai untuk suhu tinggi dan ketepatan tinggi proses pemprosesan semikonduktor. Pembawa boleh memberikan sokongan wafer yang stabil dan pemendapan filem seragam semasa pertumbuhan epitaxial MOCVD, yang penting untuk proses pemendapan lapisan. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

<...3 4 5 6 7...16 >

Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.