China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.

Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda	Nilai Biasa
Struktur Kristal	polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan	3.21 g/cm³
Kekerasan	2500 Vickers kekerasan（500g beban）
Saiz Bijirin	2~10μm
Ketulenan Kimia	99.99995%
Kapasiti Haba	640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi	2700 ℃
Kekuatan lentur	415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma	300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Alas Bersalut SiC

Vetek Semiconductor adalah profesional dalam membuat salutan CVD SiC, salutan TaC pada bahan grafit dan silikon karbida. Kami menyediakan produk OEM dan ODM seperti SiC Coated Pedestal, pembawa wafer, chuck wafer, dulang pembawa wafer, cakera planet dan sebagainya. Dengan bilik bersih dan peranti penulenan gred 1000, kami boleh memberikan anda produk dengan kekotoran di bawah 5ppm. Tidak sabar untuk mendengar daripada anda tidak lama lagi.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Cincin Masuk Salutan SiC

Vetek Semiconductor cemerlang dalam bekerjasama rapat dengan pelanggan untuk menghasilkan reka bentuk yang dipesan lebih dahulu untuk SiC Coating Inlet Ring yang disesuaikan dengan keperluan khusus. Cincin Masuk Salutan SiC ini direka bentuk dengan teliti untuk pelbagai aplikasi seperti peralatan CVD SiC dan Silicon carbide epitaxy. Untuk penyelesaian Lingkaran Masuk Salutan SiC yang disesuaikan, jangan teragak-agak untuk menghubungi Vetek Semiconductor untuk mendapatkan bantuan yang diperibadikan.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Cincin Sokongan Bersalut SiC

VeTek Semiconductor ialah pengilang dan pembekal profesional China, terutamanya menghasilkan gelang sokongan bersalut SiC, salutan silikon karbida (SiC) CVD, salutan tantalum karbida (TaC), serbuk SiC pukal, SiC dan bahan SiC ketulenan tinggi. Kami komited untuk menyediakan sokongan teknikal yang sempurna dan penyelesaian produk muktamad untuk industri semikonduktor, dialu-alukan untuk menghubungi kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Wafer Chuck

Chuck wafer Vetek Semiconductor memainkan peranan penting dalam pengeluaran semikonduktor, membolehkan keluaran yang pantas dan berkualiti tinggi. Dengan pembuatan dalaman, harga yang kompetitif dan sokongan R&D yang mantap, Vetek Semiconductor cemerlang dalam perkhidmatan OEM/ODM untuk komponen ketepatan. Mengharapkan pertanyaan anda.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

ALD Planetary Susceptor

Proses ALD, bermaksud proses Epitaksi Lapisan Atom. Pengeluar sistem Vetek Semiconductor dan ALD telah membangunkan dan mengeluarkan SiC bersalut ALD Planetary Susceptors yang memenuhi keperluan tinggi proses ALD untuk mengagihkan aliran udara secara sama rata ke atas substrat. Pada masa yang sama, salutan CVD SiC ketulenan tinggi Vetek Semiconductor memastikan ketulenan dalam proses. Dialu-alukan untuk membincangkan kerjasama dengan kami.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

Suseptor Salutan SiC

Vetek Semiconductor memberi tumpuan kepada penyelidikan dan pembangunan serta perindustrian salutan CVD SiC dan salutan CVD TaC. Mengambil susceptor salutan SiC sebagai contoh, produk ini sangat diproses dengan ketepatan tinggi, salutan SIC CVD padat, rintangan suhu tinggi dan rintangan kakisan yang kuat. Siasatan kepada kami adalah dialu-alukan.

Baca Lagi Hantar Pertanyaan

<...3 4 5 6 7...12 >

Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.