VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Cincin grafit ketulenan tinggi sesuai untuk proses pertumbuhan epitaxial GaN. Kestabilan yang sangat baik dan prestasi unggul telah menjadikannya digunakan secara meluas. VeTek Semiconductor menghasilkan dan mengeluarkan cincin grafit ketulenan tinggi terkemuka dunia untuk membantu industri epitaksi GaN terus maju. VeTekSemi berharap untuk menjadi rakan kongsi anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanSebagai pengeluar dan inovator terkemuka produk CVD SiC Pancake Susceptor di China. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, sebagai komponen berbentuk cakera yang direka untuk peralatan semikonduktor, merupakan elemen utama untuk menyokong wafer semikonduktor nipis semasa pemendapan epitaxial suhu tinggi. VeTek Semiconductor komited untuk menyediakan produk SiC Pancake Susceptor berkualiti tinggi dan menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China pada harga yang kompetitif.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal terkemuka SiC Coated Graphite Susceptor untuk MOCVD di China, mengkhusus dalam aplikasi salutan SiC dan produk semikonduktor epitaxial untuk industri semikonduktor. Suseptor grafit bersalut MOCVD SiC kami menawarkan kualiti dan harga yang kompetitif, memberi perkhidmatan kepada pasaran di seluruh Eropah dan Amerika. Kami komited untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda yang dipercayai dalam memajukan pembuatan semikonduktor.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor's CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ialah alat kejuruteraan ketepatan yang direka untuk pengendalian dan pemprosesan wafer semikonduktor. Susceptor Epitaxy Coating SiC ini memainkan peranan penting dalam menggalakkan pertumbuhan filem nipis, epilayers, dan salutan lain, dan boleh mengawal suhu dan sifat bahan dengan tepat. Mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanCincin salutan CVD SiC adalah salah satu bahagian penting bahagian halfmoon. Bersama-sama dengan bahagian lain, ia membentuk ruang tindak balas pertumbuhan epitaxial SiC. VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal cincin salutan CVD SiC profesional. Mengikut keperluan reka bentuk pelanggan, kami boleh menyediakan cincin salutan CVD SiC yang sepadan pada harga yang paling kompetitif. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi jangka panjang anda di China.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor ialah pengeluar dan inovator terkemuka bagi Susceptor Barel Bersalut SiC CVD di China. Susceptor Barrel Bersalut CVD SiC kami memainkan peranan penting dalam menggalakkan pertumbuhan epitaxial bahan semikonduktor pada wafer dengan ciri produknya yang cemerlang. Selamat datang ke perundingan lanjut anda.
Baca LagiHantar Pertanyaan