Rumah > Produk > Salutan Silikon Karbida

China Salutan Silikon Karbida Pengeluar, Pembekal, Kilang

VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.

Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.

Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.

Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bahagian reaktor yang boleh kita lakukan:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Salutan Silicon Carbide beberapa kelebihan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parameter Salutan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fizikal asas salutan SiC CVD
Harta benda Nilai Biasa
Struktur Kristal polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111).
Ketumpatan 3.21 g/cm³
Kekerasan 2500 Vickers kekerasan(500g beban)
Saiz Bijirin 2~10μm
Ketulenan Kimia 99.99995%
Kapasiti Haba 640 J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700 ℃
Kekuatan lentur 415 MPa RT 4 mata
Modulus Muda 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
Kekonduksian Terma 300W·m-1·K-1
Pengembangan Terma(CTE) 4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Pembawa Wafer Salutan SiC

Pembawa Wafer Salutan SiC

Sebagai pengeluar dan pembekal pembawa wafer salutan SiC profesional di China, pembawa wafer salutan SiC Vetek Semiconductor digunakan terutamanya untuk meningkatkan keseragaman pertumbuhan lapisan epitaxial, memastikan kestabilan dan integritinya dalam persekitaran suhu tinggi dan menghakis. Mengharapkan pertanyaan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Penerima ALD

Penerima ALD

VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional ALD Susceptor, salutan CVD SiC, asas grafit COATING CVD TAC di China. Vetek Semiconductor bersama-sama membangunkan dan menghasilkan pangkalan planet ALD bersalut SiC dengan pengeluar sistem ALD untuk memenuhi keperluan tinggi proses ALD dan mengagihkan aliran udara secara sama rata pada substrat. Kami mengharapkan kerjasama selanjutnya dengan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Siling Bersalut SiC CVD

Siling Bersalut SiC CVD

Sebagai pengeluar dan pembekal siling bersalut CVD SiC profesional di China, siling bersalut CVD SiC VeTek Semiconductor mempunyai ciri-ciri cemerlang seperti rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan, kekerasan tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah, menjadikannya pilihan bahan yang ideal dalam pembuatan semikonduktor. Kami mengharapkan kerjasama selanjutnya dengan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Susceptor Epi LED MOCVD

Susceptor Epi LED MOCVD

VeTek Semiconductor ialah pengilang profesional MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor di China. Susceptor Epi LED MOCVD Semiconductor VeTek direka untuk aplikasi peralatan epitaxial yang menuntut. Kekonduksian haba yang tinggi, kestabilan kimia dan ketahanan adalah faktor utama untuk memastikan proses pertumbuhan epitaxial yang stabil dan pengeluaran filem semikonduktor berkualiti tinggi. Kami mengharapkan kerjasama selanjutnya dengan anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Suseptor ALD salutan SiC

Suseptor ALD salutan SiC

Sebagai pengilang dan pembekal susceptor ALD salutan SiC profesional di China, susceptor ALD salutan SiC Semikonduktor VeTek ialah komponen sokongan yang digunakan khusus dalam proses pemendapan lapisan atom (ALD). Ia memainkan peranan penting dalam peralatan ALD, memastikan keseragaman dan ketepatan proses pemendapan. Kami percaya bahawa produk ALD Planetary Susceptor kami boleh membawakan anda penyelesaian produk berkualiti tinggi.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Penerima Epi Salutan SiC

Penerima Epi Salutan SiC

VeTek Semiconductor ialah pengeluar terkemuka, inovator dan peneraju produk SiC Coating Epi Susceptor di China. Selama bertahun-tahun, kami telah memberi tumpuan kepada pelbagai produk Salutan SiC seperti Susceptor Epi Salutan SiC, Pembawa Wafer Salutan SiC, Susceptor Salutan SiC, susceptor ALD salutan SiC, dll. Semikonduktor VeTek komited untuk menyediakan penyelesaian teknologi dan produk termaju untuk semikonduktor industri. Mengalu-alukan perundingan lanjut anda.

Baca LagiHantar Pertanyaan
Sebagai pengilang dan pembekal profesional Salutan Silikon Karbida di China, kami mempunyai kilang kami sendiri. Sama ada anda memerlukan perkhidmatan tersuai untuk memenuhi keperluan khusus wilayah anda atau ingin membeli termaju dan tahan lama Salutan Silikon Karbida buatan China, anda boleh meninggalkan mesej kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept