VeTek Semiconductor mengkhusus dalam pengeluaran produk Salutan Silikon Karbida ultra tulen, salutan ini direka bentuk untuk digunakan pada komponen grafit, seramik dan logam refraktori yang telah dimurnikan.
Salutan ketulenan tinggi kami disasarkan terutamanya untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor dan elemen pemanas, melindunginya daripada persekitaran yang menghakis dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses ini adalah penting kepada pemprosesan wafer dan pembuatan peranti. Selain itu, salutan kami sangat sesuai untuk aplikasi dalam relau vakum dan pemanasan sampel, di mana persekitaran vakum, reaktif dan oksigen tinggi ditemui.
Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan penyelesaian yang komprehensif dengan keupayaan kedai mesin termaju kami. Ini membolehkan kami mengeluarkan komponen asas menggunakan grafit, seramik atau logam refraktori dan menggunakan salutan seramik SiC atau TaC secara dalaman. Kami juga menyediakan perkhidmatan salutan untuk bahagian yang dibekalkan pelanggan, memastikan fleksibiliti untuk memenuhi pelbagai keperluan.
Produk Silicon Carbide Coating kami digunakan secara meluas dalam Si epitaxy, SiC epitaxy, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses pelbagai jenis LED, termasuk LED biru dan hijau, LED UV dan deep-UV LED dan lain-lain, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.
Sifat fizikal asas salutan SiC CVD | |
Harta benda | Nilai Biasa |
Struktur Kristal | polihablur fasa FCC β, terutamanya berorientasikan (111). |
Ketumpatan | 3.21 g/cm³ |
Kekerasan | 2500 Vickers kekerasan(500g beban) |
Saiz Bijirin | 2~10μm |
Ketulenan Kimia | 99.99995% |
Kapasiti Haba | 640 J·kg-1·K-1 |
Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
Kekuatan lentur | 415 MPa RT 4 mata |
Modulus Muda | 430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃ |
Kekonduksian Terma | 300W·m-1·K-1 |
Pengembangan Terma(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Pemegang tong wafer bersalut CVD SiC ialah komponen utama relau pertumbuhan epitaxial, digunakan secara meluas dalam relau pertumbuhan epitaxial MOCVD. VeTek Semiconductor menyediakan anda dengan produk yang sangat disesuaikan. Tidak kira apa keperluan anda untuk pemegang Barrel wafer bersalut CVD SiC, Selamat datang untuk berunding dengan kami.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor CVD SiC coating barrel susceptor ialah komponen teras jenis tong epitaxial furnace.Dengan bantuan CVD SiC coating barrel susceptor, kuantiti dan kualiti pertumbuhan epitaxial bertambah baik.VeTek Semiconductor is a professional manufacturer and supplier of SiC Coated Barrel Susceptor, dan berada di peringkat terkemuka di China dan juga di dunia.VeTek Semikonduktor berharap untuk mewujudkan hubungan kerjasama yang erat dengan anda dalam industri semikonduktor.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor CVD SiC salutan wafer Epi susceptor ialah komponen yang sangat diperlukan untuk pertumbuhan epitaksi SiC, menawarkan pengurusan haba yang unggul, rintangan kimia dan kestabilan dimensi. Dengan memilih susceptor Epi salutan wafer SiC CVD Semikonduktor VeTek, anda meningkatkan prestasi proses MOCVD anda, yang membawa kepada produk berkualiti tinggi dan kecekapan yang lebih tinggi dalam operasi pembuatan semikonduktor anda. Mengalu-alukan pertanyaan lanjut anda.
Baca LagiHantar PertanyaanVeTek Semiconductor CVD SiC coating grafit susceptor merupakan salah satu komponen penting dalam industri semikonduktor seperti pertumbuhan epitaxial dan pemprosesan wafer. Ia digunakan dalam MOCVD dan peralatan lain untuk menyokong pemprosesan dan pengendalian wafer dan bahan berketepatan tinggi yang lain. VeTek Semiconductor mempunyai susceptor grafit bersalut SiC terkemuka di China dan keupayaan pengeluaran dan pembuatan Susceptor Grafit Bersalut TaC, dan mengharapkan perundingan anda.
Baca LagiHantar PertanyaanElemen Pemanas salutan CVD SiC memainkan peranan teras dalam memanaskan bahan dalam relau PVD (Evaporation Deposition). VeTek Semiconductor ialah pengeluar Elemen Pemanas bersalut CVD SiC terkemuka di China. Kami mempunyai keupayaan salutan CVD termaju dan boleh menyediakan anda dengan produk salutan CVD SiC tersuai. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi anda dalam Elemen Pemanas bersalut SiC.
Baca LagiHantar PertanyaanSuseptor berputar grafit ketulenan tinggi memainkan peranan penting dalam pertumbuhan epitaxial galium nitrida (proses MOCVD). VeTek Semiconductor ialah pengeluar dan pembekal susceptor berputar grafit terkemuka di China. Kami telah membangunkan banyak produk grafit ketulenan tinggi berdasarkan bahan grafit ketulenan tinggi, yang memenuhi sepenuhnya keperluan industri semikonduktor. VeTek Semiconductor berharap untuk menjadi rakan kongsi anda dalam susceptor Rotating Graphite.
Baca LagiHantar Pertanyaan